北京埃德万斯离子束技术研究所

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摘要北京埃德万斯离子束技术研究所是国内离子束刻蚀系统、离子束溅射沉积薄膜系统、微米及纳米器件微结构研究和薄膜材料研究的创新者，是先进商用技术产品的专业制造者。

出处《中国材料科技与设备》 2012年第5期33-33,共1页 Chinese Materials Science Technology & Equipment

关键词离子束技术研究所北京离子束溅射沉积薄膜系统离子束刻蚀薄膜材料纳米器件

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中国材料科技与设备

2012年第5期

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