摘要
研究了用薄膜 Si O2 作介质的可行性。并对电子束蒸发制备的 Si O2 介质膜进行了微观分析。
In this paper, the feasibility of using SiO 2 as dielectric film for AC PDP is studied, SiO 2 film prepared by electron beam evaporation is analysed with TEM.
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
1999年第3期207-210,共4页
Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays
基金
国家 "九五"攻关项目资助
关键词
等离子体显示板
介质膜
电子束蒸发
透射电镜
plasma display panel
dielectric film
electron beam evaporation
transmission electron microscope