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光激励硅微机械谐振式传感器的进展 被引量：4

Proceeding of Silicon Microresonnator Sensors Based on Light Excitation
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摘要 对光激励硅微机械式传感器的进展进行了综述，总结了该传感器的技术特点和结构形式。 Silicon microresonator sensors based on light excitation is summarised.The characters and structures of these sensors are introdued. In the end,four typical examples are analysed.
作者 刘月明 刘君华 张少君
机构地区 西安交通大学电气工程学院 西安理工大学
出处 《传感器技术》 CSCD 1999年第4期1-4,共4页 Journal of Transducer Technology
基金 国家自然基金 陕西省自然科学研究资助项目
关键词 光激励 磁微谐振子 光纤 传感器 Light excitation Silicon microresonnator Optical fiber
分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN253 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献

参考文献7

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二级参考文献3

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  • 3李志能，J Opt-Electron

同被引文献25

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  • 10王洪刚，热弹性力学概论，1989年

引证文献4

二级引证文献12

传感器技术
1999年 第4期

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