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微谐振型光纤传感器研究
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2
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摘要
本文研究了一种由光束激励并检测的微谐振型光纤传感器，说明了利用单昌硅制作 微型硅谐振器的制作 方法。在实验的基础上分析了谐振器在光激励下的振动机理，给出了测量压力参数的原理。
作者
高金山
王家桢
机构地区
北方交通大学
清华大学
出处
《测试技术学报》
1998年第2期8-12,共5页
Journal of Test and Measurement Technology
关键词
光纤传感器
硅微结构
谐振传感器
微谐振型
分类号
TP212.03 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN253.03 [电子电信—物理电子学]
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