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OS界面杂质分凝的计算机辅助分析

The Computer Aided Analysis of Impurity Segregation in the OS Interface

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摘要研究了绝缘栅栅氧化过程中的杂质分凝效应。 In this paper,The impurity segregation effect of insulated grid oxidation process is researched.A model of Computer Aided Analysis is discussed in the microelectronics technology simulation CAD system.

作者李惠军张新

机构地区山东工业大学电子工程系

出处《山东科学》 CAS 1999年第2期42-45,共4页 Shandong Science

关键词 OS界面计算机辅助分析 MOS器件杂质分凝 microelectronics technology CAA microelectronics technology simulation

分类号 TN386 [电子电信—物理电子学]

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山东科学

1999年第2期

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