摘要
爆轰法合成的超微金刚石在化学气相沉积 (chemicalvapordepositionCVD)金刚石薄膜的过程中可以起到类似“晶籽”的促进成核的作用 ,在直流电弧等离子体喷射 (DCPlasmaJet)装置上进行的实验结果显示 ,在有UFD涂层的衬底上进行沉积可以使成核率提高 2～ 3倍 ,薄膜的形貌也与正常工艺得到的薄膜有所不同 .较高的衬底温度可能会使部分UFD发生氧化或无定形化 .进一步的研究应着眼于改善UFD的性质和降低基底温度 .
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期36-39,共4页
Chinese Science Bulletin
基金
国家自然科学基金! (批准号 :5 95 72 0 2 5 )资助项目 .
