硅基光导波结构的特性研究

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摘要研究了在硅基底上采用等离子增强化学汽相淀积（ＰＥＣＶＤ）氮氧化硅（ＳｉＯＮ）所形成的包括通道波导、条波导、倒脊型波导等多种结构的特性。通过对测试结果进一步分析，总结出有关结论并提出一些改进方法。

作者祖继锋马忠礼余宽豪陈学良耿完桢

出处《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期808-812,共5页 Acta Optica Sinica

基金辽宁省科委博士基金国家科委863高科技项目

关键词光波导硅基底氮氧化硅集成光学光电子集成

参考文献1

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光学学报

1998年第6期

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