摘要
在分析简振梁模型的基础上设计了一种硅微谐振器,探讨了硅的表面加工技术在制作三维零部件中的应用,利用这种技术成功地制作了硅微谐振器的单晶硅谐振梁。
A microresonator is designed by analyzing the simple harmonic vibration of beam. A silicon surface micromachining is used for fabrication of 3-dimensional micro-structure of silicon. And a silicon resonant beam of microresonator has been produced using this technique.
出处
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第3期12-15,共4页
Journal of Harbin Institute of Technology
基金
国家自然科学基金(69376028)
