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无碎屑激光等离子体软X射线源的研究及应用前景

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摘要分析了常规金属靶激光等离子体源产生固体碎屑的原因及其对软Ｘ射线光学元件的危害，介绍了近年来发展起来的无碎屑激光等离子体软Ｘ射线源，归纳了无碎屑激光等离子体软Ｘ射线源的几种形式和特点，并且描述了这种新型光源在软Ｘ射线显微术及光刻术中的应用．

作者林景全陈波曹健林

机构地区中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室

出处《物理》 CAS 1998年第7期431-434,共4页 Physics

关键词无碎屑激光等离子体软X射线源

分类号 TN241 [电子电信—物理电子学] O53 [理学—等离子体物理]

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物理

1998年第7期

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