摘要
掩模库系统可提高光刻机的稳定性和实用性，该系统包括精密的气动部分、机械构件和8098单片机为核心的电子／电气自动控制系统。
The reticle management system can enhance the stability and utility of thewafer stepper. The system includes precise pneumatic unit,mechanical parts andelectronic /electric automatic control system based on 8098 chip microprocessor.
出处
《微细加工技术》
EI
1997年第1期21-25,共5页
Microfabrication Technology
关键词
单片机
分步重复投影
光刻机
掩模库
wafer stepper
reticle management
8098 chip microprocessor
