二级引证文献2
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2陈德鹅,吴志明,王军,袁凯,何峰,蒋亚东.Nikon步进重复光刻机的对位机制[J].微处理机,2009,30(6):1-3. 被引量：2
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2陈旭南.亚微米分步重复投影光刻机总体设计考虑的几个问题[J].微细加工技术,1999(1):25-30. 被引量：2
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8陈伟明,田桐,王继红.0.8～1微米分步重复投影光刻机掩模库研制[J].微细加工技术,1997(1):21-25.
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9胡松,陈伟明,姚汉民,刘业异.同轴对准系统及输出光强的机辅分析[J].电子工业专用设备,1998,27(4):9-13. 被引量：1
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