摘要
扩散硅压力传感器温度补偿问题一向被人们关注。常用的补偿法有:在力敏电阻桥中串、并联电阻^([1])或单元补偿网络^([2])、有源温度补偿网络~[3])、恒压供电三极管外补偿法^([4])及可调温度系数的电压源补偿法^([5])等等。文献^([3~5])中的补偿法是利用温敏元件来改变供桥电压的温度特性,达到对传感器温度性能的补偿,是有源补偿法。
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1997年第1期65-68,共4页
Chinese Journal of Sensors and Actuators