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一种扩散硅压力传感器温度补偿方法——漂移电流源外补偿法 被引量:2

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摘要 扩散硅压力传感器温度补偿问题一向被人们关注。常用的补偿法有:在力敏电阻桥中串、并联电阻^([1])或单元补偿网络^([2])、有源温度补偿网络~[3])、恒压供电三极管外补偿法^([4])及可调温度系数的电压源补偿法^([5])等等。文献^([3~5])中的补偿法是利用温敏元件来改变供桥电压的温度特性,达到对传感器温度性能的补偿,是有源补偿法。
出处 《传感技术学报》 CAS CSCD 1997年第1期65-68,共4页 Chinese Journal of Sensors and Actuators
  • 相关文献

参考文献5

  • 1袁希光,传感器技术手册,1996年,446页
  • 2吴宪平,第二届全国敏感元件与传感学术会议论文集,1991年
  • 3徐广忠,第二届全国敏感元件与传感学术会议论文集,1991年,171页
  • 4杨经员,首届全国敏感元件与传感器学术会议论文集,1991年
  • 5方凯,王荣.一种新型高精度温度补偿压力传感器[J].半导体技术,1989,5(5):19-23. 被引量:1

同被引文献4

引证文献2

二级引证文献2

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