摘要
介绍了微机械的概念，微机械的研究内容以及目前微机械产品的发展现状，特别着重介绍了目前微机械微细加工的方法。
The concept, the content and the recent produets developed of micro machine are presented, and the micro fabrication technology for micro machine is emphatically introduced.
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
1997年第3期503-508,共6页
Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering
关键词
微机械
微细加工
Micro machine Micro fabrication Technology
