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微型机械研究的现状及展望被引量：3

Present State and Future of MEMS Research

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摘要微型机械是80年代后期崛起的新兴热点技术。本文从微型机械的历史背景入手阐述了目前微型机械的定义、主要组成部分、主要的工艺方法、国外的研究状况及应用前景,最后介绍微型机械在我国的发展状况。

作者王立鼎崔天宏吕琼莹

机构地区中国科学院长春光学精密机械研究所

出处《科技导报》 CAS CSCD 1993年第12期42-45,共4页 Science & Technology Review

关键词机械微型机械进展

分类号 TH11－1 [机械工程—机械设计及理论]

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科技导报

1993年第12期

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