微机械技术及其在仪表领域中的应用
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2胡黄卿.机械制造业的发展趋势[J].矿山机械,2003,31(11):72-74. 被引量：3
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4孙艳.现代机械制造工艺及精密加工技术[J].科技传播,2013,5(23):142-142. 被引量：1
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5苑伟政,李晓莹.微机械及微细加工技术[J].机械科学与技术,1997,16(3):503-508. 被引量：14
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6荣烈润.微机械及其微细加工技术的现状和应用研究[J].机电一体化,2002,8(3):11-13. 被引量：12
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7LIGA技术应用获进展[J].微纳电子技术,2002,39(10):45-46.
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8林梦琦,张恒.先进制造工艺技术及先进制造技术的未来[J].河北工业科技,2000,17(6):31-35. 被引量：3
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9刘森,汤国建.微机械技术在航天传感器技术中的应用分析[J].机电信息,2011(36):135-135. 被引量：3
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10谢国章.微机械技术及其在仪表领域中的应用：第二讲 微机械加工概述[J].电子与仪表,1994(2):42-46.
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