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金刚石薄膜的沉积技术及其应用被引量：1

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摘要本文介绍了金刚石气相合成的历史,金刚石薄膜的沉积方法、沉积机理以及金刚石薄膜的性能,分析了金刚石薄膜沉积技术的发展方向及其应用前景。

作者黄兴家

机构地区成都科学技术大学

出处《材料科学与工程》 CAS CSCD 1990年第3期10-15,共6页 Materials Science and Engineering

关键词金刚石薄膜沉积气相合成

分类号 TQ163 [化学工程—高温制品工业]

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材料科学与工程

1990年第3期

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