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沉积在Pt电极上的铁电PZT薄膜特性 被引量：1

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摘要 研究了射频磁控溅射沉积在Pt电极上的Pb（Zr0．53Ti0．47）O3薄膜特性。经过不同温度退火处理后得到了钙钛矿结构的PZT薄膜。在对其结构的形成和变化进行研究的基础上，探讨了薄膜PZT相的形成机理。其电性能的测试表明，这种铁电PZT（53／47）薄膜具有较好的铁电性能和疲劳特性。在600℃下PZT薄膜的剩余极化强度Pr为24．8μC／cm2，矫顽场强度Ec为70kV／cm。210kV／cm的电场下，疲劳循环直到4×108次时，最大极化强度仍有20．6μC／cm2，降低了约34％，其剩余极化强度保持为10μC／cm2左右。
作者 黄龙波 李佐宜 卢德新
机构地区 华中理工大学固体电子学系
出处 《真空科学与技术》 CSCD 1996年第3期212-216,共5页 Vacuum Science and Technology
关键词 铁电 薄膜 射频磁控溅射 特性 PZT
分类号 TM27 [一般工业技术—材料科学与工程] O484.1 [理学—固体物理]
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献9

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  • 3卢德新，华中理工大学学报，1994年，22卷，3期，93页
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  • 5Li X J，Appl Phys Lett，1993年，63卷，2345页
  • 6卢德新，华中理工大学学报，1994年，22卷，91页
  • 7Li Xingjiao，Appl Phys Lett，1993年，63卷，2345页
  • 8Peng C H，Appl Phys Lett，1992年，61卷，16页
  • 9金原粲，薄膜，1988年

共引文献12

同被引文献19

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引证文献1

二级引证文献7

真空科学与技术
1996年 第3期

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