用分割靶法制备Y_（1－x）Ho_xBa_2Cu_3O_（7－δ）超导薄膜被引量：1

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摘要本文利用直流磁控溅射技术，在（１００）钇稳定的ＺｒＯ２基片上制备出ｃ轴取向很好的Ｙ１－ｘＨＯｘＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ（０＜ｘ≤１）超导薄膜。实验中所用的靶材由ＹＢＣＯ和ＨＢＣＯ超导材料各一半组成。随着ＨＢＣＯ靶材到加热器距离的变化，钬的含量发生变化，当ｘ＝０．７（原子比），零电阻温度Ｔ∞＞８３Ｋ。

作者彭正顺杨秉川王小平石东奇华志强赵忠贤

机构地区北京有色金属研究总院

出处《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期54-56,共3页 Chinese Journal of Rare Metals

关键词 YHBCO 超导体薄膜直流磁控溅射分割靶法

分类号 TM260.51 [一般工业技术—材料科学与工程]

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