金刚石镶嵌非晶碳膜的场致电子发射研究

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摘要用微波ＣＶＤ方法在钼衬底上沉积出金刚石镶嵌非晶碳薄膜，对其场致电子发射特性和机理进行了研究，使该薄膜的场致发射电子激发荧光屏，并观察到发光。

作者何金田李运钧姚宁王建恩张兵临张友渝

机构地区郑州大学物理工程学院

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第5期49-51,共3页 Semiconductor Technology

关键词金刚石场致电子发射 CVD 薄膜

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半导体技术

1996年第5期

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