摘要
介绍了类金刚石膜的性能、制备方法以及应用。类金刚石膜(DLC)是由sp3键组态的碳和sp2键组态的碳混合组成的碳材料,由于具有与金刚石膜(DF)相似的性能———优异的光学特性、机械特性、电学特性和化学特性,同时现行制备方法(化学气相沉积,物理气相沉积等)相对容易实现,并且其产品已经应用到光学、医学、机械、电子等多个领域,因此引起人们极大兴趣。
The properties, the applications and the deposition methods of DLC film are briefly discussed. Diamond-like carbon film （ DLC ） is a carbon material that consists of sp^3 hybrid orbital and sp^2 hybrid orbital phases. Because DLC film has excellent mechanical, electric, optical, thermal, biocompatible properties which is similar to diamond film （DF） , meanwhile the fabrication of DLC film is easy to be achieved; Now the main preparation methods are PVD, CVD and etc.. People have great interests in it. Now DLC film has been used in optics, medicine, mechanism, electron fields etc ..
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2006年第2期4-6,9,共4页
Surface Technology
基金
国家自然科学基金(20375008
20475001)
广东省自然科学基金(32167)
广东省科技攻关项目(2004B33301024)
广东省教育厅自然科学研究项目(Z03091)资助项目
关键词
类金刚石膜(DLC)
杂化轨道
性质
应用
制备
沉积
Diamond-like carbon film （ DLC ）
hybrid orbital
orbital
Properties
Applications
Preparation
Deposition
