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磁场拉晶技术简介 被引量:7

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摘要 本文回顾了磁场拉晶的历史,并对磁拉Si、GaAs和InP的原理、装置、生长技术以及发展水平作了简要的描述,评价了磁拉单晶的电学、光学性能和结晶学特性,概括性地对磁拉单晶与微重力下生长的晶体作了比较。
出处 《半导体情报》 1989年第1期25-30,24,共7页 Semiconductor Information
  • 相关文献

参考文献1

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同被引文献48

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引证文献7

二级引证文献17

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