摘要
类金刚石薄膜、金刚石薄膜、立方氮化硼薄膜等是近年来超硬涂层材料研究中引人注目的三种功能型薄膜材料,它们在机械、电子、光学等领域有着可观的应用前景,而这三种超硬薄膜的制备,CVD技术起着至关重要的作用。本文简要评述了CVD技术在近年超硬涂层发展中的应用。
The application of chemical vapor deposition (CVD) technology in superhard coating technology has been re-viesed in the present paper. Diamond-like carbon films, diamond films, C-BN films by CVD technologie have been described.
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
1995年第5期25-27,共3页
Surface Technology
基金
湘潭大学科研基金资助
