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集成化传感器研制现状与发展趋势
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摘要
本文介绍了近年来国内外集成型力敏、磁敏、温敏、光敏、气敏等传感器的研制与开发情况以及未来发展趋势。
作者
张桂成
机构地区
中科院上海冶金研究所
出处
《传感器技术》
CSCD
1989年第4期7-11,共5页
Journal of Transducer Technology
关键词
传感器
集成化
集成电路
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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5
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参考文献
4
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2
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3
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4
鲍敏杭,吴宪平.集成传感器[M]国防工业出版社,1987.
二级参考文献
4
1
童勤义,电子学报,1987年,15卷,112页
2
童勤义,1987年
3
黄金彪,1986年
4
团体著者
共引文献
5
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2
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3
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4
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被引量:10
5
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1
朱秀文,张维新,毛干茹,宫丽文.
硅压阻式低压传感器研制[J]
.天津大学学报,1992,25(3):127-131.
被引量:3
传感器技术
1989年 第4期
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