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MEM-300-E型快速成型机影响成型因素的分析 被引量：2
1
作者 邵海军 沈元元 《黑龙江科技信息》 2012年第24期36-36,共1页
通过叙述快速成型技术在成型过程中,成型精度的好坏受到哪些因素的影响,就各方面的因素进行分析,从中找到好的方法进行改善,为以后从事或加工成型类零件能够获得好的精度留下依据。
关键词 快速成型 成型精度 mem-300-E型快速成型机
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引信MEMS安全系统远距离解除保险机构研究现状
2
作者 李志鹏 何博 +1 位作者 冯恒振 娄文忠 《探测与控制学报》 北大核心 2026年第1期31-37,共7页
MEMS安全系统具有微型化、集成化、可大批量生产的优势,是推动未来引信技术发展,实现引信整体效能提升的重要途径。远距离解除保险机构作为MEMS安全系统的核心模块之一,在国内外得到了深入的研究。针对MEMS安全系统远距离解除保险机构... MEMS安全系统具有微型化、集成化、可大批量生产的优势,是推动未来引信技术发展,实现引信整体效能提升的重要途径。远距离解除保险机构作为MEMS安全系统的核心模块之一,在国内外得到了深入的研究。针对MEMS安全系统远距离解除保险机构研究进展,在收集、分析国内外文献资料的基础上,总结了远距离解除保险机构发展现状;按照延期形式,将MEMS安全系统远距离解除保险机构划分并对各自的典型结构进行分析,展望了MEMS安全系统远距离解除保险机构的未来发展趋势。 展开更多
关键词 安全系统 微机电系统 远距离解除保险机构 钟表机构 微小型作动器
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新型微杠杆增强MEMS加速度计的设计与制作
3
作者 耿志鹏 苗斌 +3 位作者 冯昌坤 陶金燕 李淑娴 李加东 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第1期106-110,共5页
为提升MEMS加速度计的灵敏度,提出并设计了一种新型微杠杆增强MEMS加速度计。利用有限元分析工具对有、无微杠杆结构的双摆式加速度计进行了仿真计算。结果显示增加杠杆结构后扭转梁的等效应力集中只有无杠杆结构时等效应力水平的47%,... 为提升MEMS加速度计的灵敏度,提出并设计了一种新型微杠杆增强MEMS加速度计。利用有限元分析工具对有、无微杠杆结构的双摆式加速度计进行了仿真计算。结果显示增加杠杆结构后扭转梁的等效应力集中只有无杠杆结构时等效应力水平的47%,并且检验质量块位移为无杠杆结构时的3.5倍。进一步对杠杆结构辅助双摆式加速度计进行了工艺路线设计和制作,并将敏感结构与信号检测电路进行了集成。测试结果表明:新型加速度计的灵敏度达到179.13 mV/g,通过零偏稳定性计算,Allan方差为2.15 mg/h。研究结果可以为MEMS加速度计提升灵敏度的研究提供参考。 展开更多
关键词 MEMS加速度计 微杠杆 灵敏度 零偏稳定性
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基于内置MEMS传感器的单元火工品原位压力监测方法
4
作者 陈絮 吴瑞德 +4 位作者 杨莉 郭晓荣 陈小松 丁茂元 张欣 《火工品》 北大核心 2026年第1期8-13,共6页
为破解单元火工品全寿命周期“不可检、不可修”导致的可靠性评价盲区,本文提出一种“零接口改动”的内置MEMS原位监测技术。以双桥四针电起爆器为载体,在电极塞对称双凹槽内同步贴装SOI压阻压力微传感器与半导体桥发火芯片。标定结果显... 为破解单元火工品全寿命周期“不可检、不可修”导致的可靠性评价盲区,本文提出一种“零接口改动”的内置MEMS原位监测技术。以双桥四针电起爆器为载体,在电极塞对称双凹槽内同步贴装SOI压阻压力微传感器与半导体桥发火芯片。标定结果显示:0~5 MPa范围内传感器平均灵敏度1.636 mV·MPa^(-1),线性度R2≥0.999;1A安全电流下首次捕捉到1.3 MPa热-固体膨胀瞬态峰,揭示桥-药剂界面约束应力机制;5A发火状态下微传感器测得21.7MPa,较侧壁标准传感器高6 MPa,响应滞后<0.3 ms。该方案将传统“桥丝电阻”间接判据升级为“温度-压力”直接物理量,具备通用接口、可扩展、可批量制造等优势,为火工品健康监测与数据驱动设计提供了通用、便携的新途径。 展开更多
关键词 单元火工品 原位监测 MEMS微传感器 热-固体膨胀 压力监测
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MEMS磁通门传感器有限元仿真方法
5
作者 马朝祥 吕阳 +2 位作者 陆玲霞 于淼 朱格民 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第2期48-54,共7页
针对MEMS场景下磁通门仿真建模过于简化的问题,提出考虑各向异性磁芯耦合特性的系统性仿真方法。通过采用非线性Jiles-Atherton(J-A)模型和基于张量能量运算的磁滞回线建模方法,得到耦合了磁材料复杂特性的磁芯模型。并探究不同参数对... 针对MEMS场景下磁通门仿真建模过于简化的问题,提出考虑各向异性磁芯耦合特性的系统性仿真方法。通过采用非线性Jiles-Atherton(J-A)模型和基于张量能量运算的磁滞回线建模方法,得到耦合了磁材料复杂特性的磁芯模型。并探究不同参数对传感器性能的影响。结果显示:该仿真方法可有效反映各向异性磁芯材料对磁通门工作特性的影响,验证了激励电流、磁芯厚度和线圈截面积与传感器性能的关系,可为MEMS场景下的磁通门传感器有限元仿真研究及实物制作提供有效参考。 展开更多
关键词 磁通门 有限元仿真 MEMS Jiles-Atherton模型
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幅频特性解耦的红外探测器响应时间测量方法
6
作者 张震宇 卢瑾 +3 位作者 雷程 李腾腾 李丰超 梁庭 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第2期145-149,共5页
报道了一种基于调制输入信号频率,进行MEMS热电堆红外探测器频率响应测试的方法。与传统频率响应测试相比,对于已封装的探测器,不需要已知吸收区面积或破坏封装进行器件吸收区面积的测量,直接记录待测器件的输出电压,简化操作流程,提高... 报道了一种基于调制输入信号频率,进行MEMS热电堆红外探测器频率响应测试的方法。与传统频率响应测试相比,对于已封装的探测器,不需要已知吸收区面积或破坏封装进行器件吸收区面积的测量,直接记录待测器件的输出电压,简化操作流程,提高测试效率。将探测器等效为一阶热—电系统,通过正弦谐波信号调制红外辐射,采集输出电压幅值,对数据归一化处理,利用线性系统理论拟合并定位-3 dB截止频率点,直接解算响应时间。实验结果表明,新方法测得的响应时间(8.38~9.52 ms)与传统响应率/频率曲线法结果(8.37~9.69 ms)高度吻合,最大偏差仅1.8%,保证测试精度,且测试器件完好,支持器件重复测试多次,为MEMS热电堆红外探测器动态性能测试开辟了新路径。 展开更多
关键词 MEMS红外探测器 响应时间 动态测试 幅频响应
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异步解调对微机电陀螺全温性能的影响及改善方法
7
作者 陈旭辉 白橙 +2 位作者 雷宏杰 王刚 张天磊 《中国惯性技术学报》 北大核心 2026年第1期67-72,共6页
为进一步提升微机电(MEMS)陀螺全温性能,分析了解调异步特性对MEMS陀螺输出的影响,并提出一种自时钟技术,通过提升电路同步性改善陀螺全温性能。首先,阐述当前MEMS陀螺工程上某种常见的全温异常现象。然后,针对异步解调环节带来的相位... 为进一步提升微机电(MEMS)陀螺全温性能,分析了解调异步特性对MEMS陀螺输出的影响,并提出一种自时钟技术,通过提升电路同步性改善陀螺全温性能。首先,阐述当前MEMS陀螺工程上某种常见的全温异常现象。然后,针对异步解调环节带来的相位误差进行理论分析及建模仿真,给出了MEMS陀螺全温异常现象的产生机理。提出一种通过提升时钟同步性改善全温性能的思路,通过将MEMS陀螺机械谐振子的谐振频率倍频后用作解调电路的主时钟,从而解决跨时钟域问题。最后,进行ASIC流片及陀螺系统级综合验证,实测数据证明所提出的改进方案将MEMS陀螺的全温性能提升约一个数量级。 展开更多
关键词 MEMS陀螺 全温性能 异步解调 自时钟
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基于惯性数据的汽车轨迹重构算法研究
8
作者 伍洪俊 张辉 《计算机应用与软件》 北大核心 2026年第1期296-301,共6页
为了获取汽车行驶过程中微观、详细的运行轨迹,利用高采样率的二维加速度数据,根据Ackermann运动模型,提出重构汽车运动二维轨迹的算法。通过设计高采样率的汽车惯性数据采集系统和真车上路试验,同步采集了汽车GPS、加速度数据等,实验... 为了获取汽车行驶过程中微观、详细的运行轨迹,利用高采样率的二维加速度数据,根据Ackermann运动模型,提出重构汽车运动二维轨迹的算法。通过设计高采样率的汽车惯性数据采集系统和真车上路试验,同步采集了汽车GPS、加速度数据等,实验数据验证了本文的汽车轨迹重构算法有效、可靠。该算法可以解决汽车行驶过程中单纯依靠GPS记录汽车轨迹采集率过低、数据漂移等问题,可在汽车轨迹重现分析和危险行驶预警等领域有独特的应用价值。 展开更多
关键词 惯性数据 MEMS传感器 轨迹重构 交通安全
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气溶胶喷印银膜换能元制备及安保机构集成设计
9
作者 董世豪 刘凤丽 +1 位作者 郝永平 王洪星 《微纳电子技术》 2026年第1期41-46,共6页
针对火工品换能元制备工艺复杂、加工一致性难以保证、材料使用率低等问题,同时满足微机电系统(MEMS)火工品向智能化、微型化与集成化方向发展的需求,开展了MEMS起爆器与MEMS安保机构总体集成设计,提出了一种基于高精度气溶胶喷印设备... 针对火工品换能元制备工艺复杂、加工一致性难以保证、材料使用率低等问题,同时满足微机电系统(MEMS)火工品向智能化、微型化与集成化方向发展的需求,开展了MEMS起爆器与MEMS安保机构总体集成设计,提出了一种基于高精度气溶胶喷印设备制备银膜换能元的方法。集成后的安保机构整体尺寸为12.8 mm×8.5 mm×2.2 mm。通过场发射扫描电子显微镜对换能元桥的形貌及厚度进行表征。银膜换能元电阻为(1.5±0.1)Ω,桥区厚度为10μm,表面连续无缺陷。对其发火性能进行测试,结果表明,在不同输入电压下存在电热、电爆两种情况,蘸有三硝基间苯二酚铅(LTNR)的银膜桥能在2 mm传火间隙下引爆压药密度为1.6 g/cm^(3)的硼硝酸钾药柱。 展开更多
关键词 气溶胶喷印 银膜换能元 微机电系统(MEMS)安保集成 三硝基间苯二酚铅(LTNR) 硼硝酸钾
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MEMS陀螺仪耦合网络的加速自适应控制
10
作者 申林雪 张生海 魏家沛 《电光与控制》 北大核心 2026年第3期24-31,共8页
针对微机电系统(MEMS)陀螺仪耦合网络内存在的有害高频混沌振荡,提出一种基于二型模糊神经网络(T2FNN)的加速自适应反演控制方案。首先,根据串并联耦合机制建立了具有四个等效质量块的MEMS陀螺仪耦合网络模型;其次,利用相图、时间历程... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪耦合网络内存在的有害高频混沌振荡,提出一种基于二型模糊神经网络(T2FNN)的加速自适应反演控制方案。首先,根据串并联耦合机制建立了具有四个等效质量块的MEMS陀螺仪耦合网络模型;其次,利用相图、时间历程图和李雅普诺夫指数图对该耦合网络系统的动态演化规律进行了揭示;为了有效解决MEMS陀螺仪耦合网络固有的混沌运动,设计了融合速度函数、T2FNN以及双曲正切跟踪微分器(HTTD)的控制方案;最后,大量仿真实验结果验证了控制方案的可行性和有效性。 展开更多
关键词 MEMS 陀螺仪耦合网络 混沌振荡 二型模糊神经网络 加速自适应控制
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基于KNN薄膜压电MEMS声学传感器仿真方法研究
11
作者 田辰 胡胜 +3 位作者 何强 聂京凯 陈斌杰 尹航 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第2期37-41,共5页
为解决传统含铅传感器的环保问题,设计基于铌酸钾钠(KNN)无铅压电薄膜的MEMS声学传感器,采用COMSOL Multiphysics有限元分析法分析并优化其发射性能。研究构建复合压电板与含实际衬底支撑的两种传感器有限元模型,借复合压电板等效模型... 为解决传统含铅传感器的环保问题,设计基于铌酸钾钠(KNN)无铅压电薄膜的MEMS声学传感器,采用COMSOL Multiphysics有限元分析法分析并优化其发射性能。研究构建复合压电板与含实际衬底支撑的两种传感器有限元模型,借复合压电板等效模型优化器件半径、压电层/中性层厚度、上电极板半径等关键几何参数。分析发现,谐振频率与器件半径负相关,与压电层、振动层厚度正相关;当上电极板半径与器件半径比为1..2、KNN层与Si层厚度比为2..1时,器件位移响应最佳。仿真结果显示,优化后传感器发射性能显著提升,适用于超声波发射场景,为无铅压电MEMS声学传感器的制备与性能调控提供可靠数值依据。 展开更多
关键词 压电MEMS声学传感器 铌酸钾钠 有限元法分析
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高动态薄膜温度传感器设计与仿真数据分析
12
作者 郑德智 李宗霖 +3 位作者 胡纯 王国俨 李中翔 那睿 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第1期78-83,共6页
为满足高铁牵引系统对高动态响应、高精度和高分辨率温度传感器的需求,通过优化芯片结构来提升MEMS铂(Pt)薄膜温度传感器的性能。尽管传统传感器在测量范围和稳定性方面表现出色,但在响应速度、分辨率和精度方面还有提升空间,特别是在... 为满足高铁牵引系统对高动态响应、高精度和高分辨率温度传感器的需求,通过优化芯片结构来提升MEMS铂(Pt)薄膜温度传感器的性能。尽管传统传感器在测量范围和稳定性方面表现出色,但在响应速度、分辨率和精度方面还有提升空间,特别是在薄膜和基底尺寸的优化方面研究不足。因此,开发了一种新型高动态薄膜温度传感器,采用绝缘体—氮化硅(Si_(3)N_(4))、电阻—铂、基底—氧化铝(Al_(2)O_(3))的结构。通过三维建模和COMSOL有限元仿真,深入分析了基底材料、薄膜和基底厚度参数对传感器性能的影响,最终确定了最优的结构参数。仿真结果表明:新型传感器在响应速度和测温精度上有显著提升,响应时间为50 ms,精度优于0.02K,分辨率达到0.001K。此外,这种高动态薄膜温度传感器的研发不仅对高铁牵引系统的温度监测具有重要意义,也为在其他高要求应用领域的潜在应用提供了基础。 展开更多
关键词 铂薄膜温度传感器 MEMS 高动态 结构优化 高精度
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基于AR模型的MEMS传感器误差建模及分析
13
作者 程果 《船电技术》 2026年第1期23-28,共6页
基于微机电系统(MEMS)的惯性传感器以其低成本、低能耗、体积小等优势被广泛应用,低成本的惯性传感器使得MEMS/GNSS组合导航系统具有很大的发展空间。相比GNSS,MEMS在面对信号干扰时具有更好的抑制性能,但是,MEMS陀螺仪和加速度计的精... 基于微机电系统(MEMS)的惯性传感器以其低成本、低能耗、体积小等优势被广泛应用,低成本的惯性传感器使得MEMS/GNSS组合导航系统具有很大的发展空间。相比GNSS,MEMS在面对信号干扰时具有更好的抑制性能,但是,MEMS陀螺仪和加速度计的精度常受到陀螺、加速度计测量误差的影响。为了减少测量误差对导航精度造成的影响,提高组合导航的精度,通过建立自回归过程(AR)模型来减小MEMS传感器随机误差,并通过扩展卡尔曼滤波提高MEMS/GNSS组合系统精度,最后利用试验数据验证了理论模型,得到了较好的效果。 展开更多
关键词 组合导航 MEMS 随机误差 AR模型
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MEMS陀螺精度保持性的焊装工艺
14
作者 徐静 李航 师兰芳 《电子工艺技术》 2026年第1期20-24,共5页
基于硅微结构和陶瓷载板制造的MEMS陀螺仪作为一种以固态敏感质量微量波动进行载体位姿测量的微型惯性器件,其城堡式焊装结构在工艺上因焊装后支撑结构差异会直接影响陀螺仪零偏稳定性,特别是随低成本和环境工况的应用扩展,不断挤压陀... 基于硅微结构和陶瓷载板制造的MEMS陀螺仪作为一种以固态敏感质量微量波动进行载体位姿测量的微型惯性器件,其城堡式焊装结构在工艺上因焊装后支撑结构差异会直接影响陀螺仪零偏稳定性,特别是随低成本和环境工况的应用扩展,不断挤压陀螺仪精度余量。针对MEMS惯性组合焊装结构随复杂力热环境影响出现焊点疲劳变形以及焊装应力不平衡等因素对陀螺仪精度的有害影响开展分析,结合MEMS-IMU(微机电系统—惯性测量单元)焊装材料和设计结构特点,通过工艺仿真和相关验证给出利于焊装应力控制的精度保持工艺方案。 展开更多
关键词 MEMS陀螺 LCCC封装 焊接
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基于MEMS仿生电子鼻的气味识别算法研究
15
作者 薛永霞 曾建华 +5 位作者 高文俊 郭瑞欣 李丹丹 苟建萍 刘美辰 冒文静 《价值工程》 2026年第2期103-105,共3页
本研究聚焦于基于MEMS仿生电子鼻的气味识别算法。深入探究实验系统构成,包括MEMS传感器选型与特性、数据采集硬件与软件设计。详尽阐述数据处理流程,涵盖16进制到十进制转换、归一化处理、多种特征提取方法及其数学原理与物理意义。深... 本研究聚焦于基于MEMS仿生电子鼻的气味识别算法。深入探究实验系统构成,包括MEMS传感器选型与特性、数据采集硬件与软件设计。详尽阐述数据处理流程,涵盖16进制到十进制转换、归一化处理、多种特征提取方法及其数学原理与物理意义。深入剖析SVM模型构建,从原理到核函数选择、参数优化方法,以及训练与测试策略。通过大量实验对空气和香水气味进行识别分析,探讨模型性能影响因素,包括数据采集环境、特征提取与模型参数,并与其他算法对比,提出改进方向与应用前景展望,为气味识别技术发展提供全面理论与实践参考。 展开更多
关键词 MEMS 气味识别算法 SVM模型 特征提取
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基于XGBoost的UWB/MEMS IMU室内定位及精度分析
16
作者 罗力 《测绘工程》 2026年第1期92-96,共5页
针对基于UWB和MEMS惯性IMU的四轮机器人在复杂室内环境下,受传感器特性影响,其定位精度不能满足使用要求的问题,提出基于XGBoost的UWB/MEMS IMU四轮机器人室内定位方法。通过XGBoost对UWB的非视距数据识别并剔除以提高UWB数据质量,以及... 针对基于UWB和MEMS惯性IMU的四轮机器人在复杂室内环境下,受传感器特性影响,其定位精度不能满足使用要求的问题,提出基于XGBoost的UWB/MEMS IMU四轮机器人室内定位方法。通过XGBoost对UWB的非视距数据识别并剔除以提高UWB数据质量,以及添加结合四轮机器人运动状态的非完整约束来抑制MEMS IMU独立定位时的误差发散,采用改进的UWB/MEMS IMU紧组合算法来实现四轮机器人的室内定位。实验结果表明,在复杂的室内环境下,四轮机器人的平面定位精度在0.2 m以内,所提出的方法能有效地提高四轮机器人室内定位的精度和稳定性。 展开更多
关键词 超宽带、微机电惯性测量单元组合 极端梯度提升 室内定位 四轮机器人 非完整性约束
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π型悬臂梁结构的光纤氢气传感器增敏机制研究
17
作者 乔亚兴 解智刚 +2 位作者 姜文韬 季子杰 章程熙 《机械设计与制造工程》 2026年第2期138-142,共5页
为提升氢气检测的灵敏度和噪声鲁棒性,提出一种基于π型悬臂梁结构的光纤氢气传感器。传感单元采用钯铜(PdCu)合金作为敏感层,通过微机电系统(MEMS)技术完成结构建模。建立了π型悬臂梁的气体-力学转换理论模型,并利用COMSOL Multiphys... 为提升氢气检测的灵敏度和噪声鲁棒性,提出一种基于π型悬臂梁结构的光纤氢气传感器。传感单元采用钯铜(PdCu)合金作为敏感层,通过微机电系统(MEMS)技术完成结构建模。建立了π型悬臂梁的气体-力学转换理论模型,并利用COMSOL Multiphysics软件对比分析了π型与常规矩形悬臂梁的力学响应特性。仿真结果表明:在相同气体浓度载荷下,π型悬臂梁的形变响应量显著高于矩形结构,最大形变增益达57%,证实其机械灵敏度优势;同时,π型结构的固有频率降低32%,有效拓宽了环境振动抑制带宽。 展开更多
关键词 光纤传感器 π型悬臂梁 氢气传感 微机电系统技术
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基于MEMS传感器的矿井罐笼姿态监测系统设计
18
作者 王斌 《科技创新与应用》 2026年第6期114-118,共5页
该文介绍一种基于MEMS传感器的煤矿竖井提升机罐笼姿态实时测量系统。该系统通过集成MPU9250惯性测量单元(IMU)、TMS320F28069微控制器、蓝牙5.0通信模块和MATLAB上位机软件,实现罐笼在井下复杂环境中的姿态实时监测。系统设计注重抗干... 该文介绍一种基于MEMS传感器的煤矿竖井提升机罐笼姿态实时测量系统。该系统通过集成MPU9250惯性测量单元(IMU)、TMS320F28069微控制器、蓝牙5.0通信模块和MATLAB上位机软件,实现罐笼在井下复杂环境中的姿态实时监测。系统设计注重抗干扰性能和数据传输的稳定性,能够有效应对井下强振动和电磁干扰等问题。结果表明,该系统能够提供高精度、低延迟的姿态测量数据,为煤矿安全生产提供可靠的技术支持。 展开更多
关键词 煤矿竖井 罐笼姿态测量 MEMS传感器 TMS320F28069 实时监测
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微型化机械仪器仪表的制造工艺改进与实现
19
作者 王虎 《模具制造》 2026年第1期228-230,共3页
随着工业自动化与精密检测领域对微型化设备需求的激增,微型化机械仪器仪表的制造工艺优化成为关键课题。阐述了微型化机械仪器仪表的技术基础,包括微型机械系统(MEMS)技术的核心原理与特征,以及仪器仪表微型化设计的关键参数;分析了制... 随着工业自动化与精密检测领域对微型化设备需求的激增,微型化机械仪器仪表的制造工艺优化成为关键课题。阐述了微型化机械仪器仪表的技术基础,包括微型机械系统(MEMS)技术的核心原理与特征,以及仪器仪表微型化设计的关键参数;分析了制造工艺的改进路径与技术实现,涵盖超精密数控加工、高频超声波辅助加工、多材料复合制造、在线测量与闭环控制及智能制造系统的应用;通过具体案例验证了这些工艺改进的有效性。研究为提升微型化机械仪器仪表的制造精度、效率与可靠性提供了技术参考,对推动相关产业的技术升级具有重要现实意义。 展开更多
关键词 微型化机械仪器仪表 制造工艺 MEMS技术 超精密加工
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MEMS传感器在航空器中的应用综述
20
作者 段建瑞 《微纳电子技术》 2026年第2期41-51,共11页
微机电系统(MEMS)传感器技术正驱动航空电子系统向小型化、智能化与高可靠性方向深刻变革。系统综述了MEMS传感器在航空器中的应用现状、技术原理、挑战及未来趋势。首先梳理了其从辅助参数监测到核心飞控系统集成的技术演进路径;继而... 微机电系统(MEMS)传感器技术正驱动航空电子系统向小型化、智能化与高可靠性方向深刻变革。系统综述了MEMS传感器在航空器中的应用现状、技术原理、挑战及未来趋势。首先梳理了其从辅助参数监测到核心飞控系统集成的技术演进路径;继而详细阐述了加速度计、陀螺仪、压力传感器及惯性测量单元(IMU)等核心器件的工作原理;并重点剖析了其在导航与飞行控制、发动机健康管理、客舱环境控制等关键系统中的具体应用与效能。针对当前应用瓶颈,深入分析了其在测量精度、极端环境适应性及适航认证方面面临的挑战。最后,展望了未来新材料应用、智能化升级、多传感器深度融合及先进封装工艺等主要发展方向,以期为MEMS传感器在航空领域的持续创新与深度应用提供理论参考与实践指引。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS)传感器 航空器 导航与飞行控制系统 发动机监测与控制 惯性测量单元(IMU)
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