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MEM-300-E型快速成型机影响成型因素的分析 被引量：2
1
作者 邵海军 沈元元 《黑龙江科技信息》 2012年第24期36-36,共1页
通过叙述快速成型技术在成型过程中,成型精度的好坏受到哪些因素的影响,就各方面的因素进行分析,从中找到好的方法进行改善,为以后从事或加工成型类零件能够获得好的精度留下依据。
关键词 快速成型 成型精度 mem-300-E型快速成型机
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华北一季作区中早熟马铃薯高产高效栽培技术 被引量：1
2
作者 祁利潘 王昕睿 +2 位作者 王烁凯 王磊 冯琰 《河北北方学院学报(自然科学版)》 2025年第1期49-53,10,共6页
华北一季作区传统马铃薯种植以中晚熟品种为主,近年来早熟品种因其上市时间灵活、市场价格优势显著,逐渐受到种植者青睐。为满足该区域对中早熟品种配套栽培技术的迫切需求,河北北方学院旱作农业研究中心针对中早熟品种的特点,通过系统... 华北一季作区传统马铃薯种植以中晚熟品种为主,近年来早熟品种因其上市时间灵活、市场价格优势显著,逐渐受到种植者青睐。为满足该区域对中早熟品种配套栽培技术的迫切需求,河北北方学院旱作农业研究中心针对中早熟品种的特点,通过系统研究播前准备、中耕培土、水肥管理、病虫草害防治及收获的全流程,建立了以优质品种选育、水肥药协同调控、病虫害综合防控为核心的华北一季作区中早熟马铃薯高效生产技术体系,为提升区域马铃薯生产效益提供技术支撑。 展开更多
关键词 马铃薯 中早熟 栽培技术 水肥一体化 病虫害防治
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静电MEMS微镜垂直梳齿驱动器的设计
3
作者 吴云 彭安杰 +6 位作者 郑岩 张建祥 王雅昕 贺盈波 陈真 华宝成 乔大勇 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第9期41-46,共6页
垂直梳齿驱动的静电MEMS微镜在实现对光束的准静态和矢量偏转中具有显著优势,受到包括激光雷达、光通信、激光显示以及生物断层检测等应用领域的广泛关注。为了对垂直梳齿驱动器的性能进行优化,文中通过建立交错垂直梳齿(SVC)驱动的静电... 垂直梳齿驱动的静电MEMS微镜在实现对光束的准静态和矢量偏转中具有显著优势,受到包括激光雷达、光通信、激光显示以及生物断层检测等应用领域的广泛关注。为了对垂直梳齿驱动器的性能进行优化,文中通过建立交错垂直梳齿(SVC)驱动的静电MEMS微镜的理论模型,研究了可动梳齿和固定梳齿的交叠高度对静电MEMS微镜的静态偏转角度与两驱动电极压差的关系及其线性度的影响。理论结果表明:相同驱动压差下,SVC驱动的静电MEMS微镜静态偏转角度随着梳齿交叠高度的增大而减小,而静态偏转角度与两驱动电极压差的线性度随着梳齿交叠高度的增大先增大后减小,因此可以通过调节梳齿的交叠高度来优化静电MEMS微镜的最大静态偏转角度以及偏转角度与驱动压差的线性度,为静电MEMS微镜垂直梳齿驱动器的设计和参数优化提供参考。 展开更多
关键词 静电MEMS微镜 垂直梳齿 交叠高度 偏转角度 参数优化
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矩形微同轴工艺研究与器件制备
4
作者 马强 王锐 +1 位作者 吴伟 马思阅 《半导体技术》 北大核心 2025年第9期908-914,共7页
在需要大带宽和低损耗的微波传输系统中,微电子机械系统(MEMS)工艺参数对矩形微同轴结构的射频(RF)性能影响较大。仿真分析了该微同轴内部导体表面粗糙度、内导体宽度、侧壁倾斜度与传输损耗、特性阻抗等射频参数的关系。结果表明,表面... 在需要大带宽和低损耗的微波传输系统中,微电子机械系统(MEMS)工艺参数对矩形微同轴结构的射频(RF)性能影响较大。仿真分析了该微同轴内部导体表面粗糙度、内导体宽度、侧壁倾斜度与传输损耗、特性阻抗等射频参数的关系。结果表明,表面粗糙度增大导致传输损耗单调增大,内导体宽度减小和侧壁倾斜度增大均导致特性阻抗变大。通过工艺实验验证了仿真结果并优化了相关参数。制作了矩形微同轴功分器、多零点带通滤波器样品并进行测试,验证了理论分析和工艺实验结果的一致性。本文研究结果可为下一代高频微系统的发展提供技术支持。 展开更多
关键词 矩形微同轴 微电子机械系统(MEMS) 工艺参数 功分器 滤波器
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MEMS气体传感器发展现状与对策
5
作者 苏铮 邢志鹏 +2 位作者 钟一红 许梦雪 孙旭辉 《传感技术学报》 北大核心 2025年第9期1533-1539,共7页
新型MEMS气体传感器具有功耗低、体积小、灵敏度高、选择性好、集成度高等优点而被广泛应用。随着物联网、微机电系统技术与人工智能的快速发展,利用MEMS气敏传感阵列与人工智能算法构建的人工嗅觉技术在更多的领域中发挥重要作用,实现... 新型MEMS气体传感器具有功耗低、体积小、灵敏度高、选择性好、集成度高等优点而被广泛应用。随着物联网、微机电系统技术与人工智能的快速发展,利用MEMS气敏传感阵列与人工智能算法构建的人工嗅觉技术在更多的领域中发挥重要作用,实现气体传感器从“功能实现”到“性能提升”到“智能化”的发展路线。从MEMS气体传感器的种类、气敏材料、传感机理及应用等方面描述了其研究现状,并聚焦MEMS气体传感器现存的问题,提出了未来的发展方向及相应对策。 展开更多
关键词 MEMS气体传感器 微热板 传感器微结构原理 策略
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采煤机全位姿测量传感器系统研究与设计
6
作者 李曼 沈思怡 +2 位作者 刘俊棋 刘相通 曹现刚 《煤炭科学技术》 北大核心 2025年第S1期378-388,共11页
现有采煤机机身位置、姿态、滚筒高度等参数的测量中,存在方法和手段不足,测量装置一体化、集成化、智能化程度低、信息处理能力差、价格高等问题。首先,从采煤机运行实际出发,分析其运行过程中机身姿态、位置和滚筒高度变化规律及影响... 现有采煤机机身位置、姿态、滚筒高度等参数的测量中,存在方法和手段不足,测量装置一体化、集成化、智能化程度低、信息处理能力差、价格高等问题。首先,从采煤机运行实际出发,分析其运行过程中机身姿态、位置和滚筒高度变化规律及影响因素,建立机身位置解算模型和考虑机身姿态角的滚筒高度解算模型。其次,针对多参量测量,提出一种以微处理器为核心,由基于MEMS传感芯片的机身姿态传感器、里程传感器和左、右摇臂摆角传感器组成的主从式结构系统解决方案。再次,确定各参数的测量方法,设计3类传感器的硬件架构和电路—传感器以DSP-F28335为主控芯片,机身姿态主传感器由MPU6050惯导芯片为测量元件,摇臂摆角和里程传感器由TLE5012B角度芯片为测量元件。开发各传感器运行控制、数据采集与解算、通信等程序。最后,通过实验对传感器系统样机的误差进行测量,结果表明:旋转角度、横滚角、俯仰角、航向角、滚筒高度、机身X轴位置和Y轴位置的平均绝对误差分别为0.06°、0.02°、0.03°、0.15°、1.45 mm、2.64 mm、3.43 mm,平均相对误差分别为0.23%、0.16%、0.25%、1.54%、0.49%、0.53%、2.45%。 展开更多
关键词 采煤机位姿 滚筒高度 主从式传感器系统 DSP MEMS
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超快激光3D打印无机材料技术及应用(特邀)
7
作者 廖常锐 方浩锐 +3 位作者 朱德志 何智明 陈文涛 王义平 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第4期64-85,共22页
无机材料因其卓越的机械性能、化学稳定性和耐高温特性,广泛应用于航空航天、电子设备、光学器件等领域。然而,传统无机材料制造方法因工艺复杂、精度不足等限制难以满足高性能器件需求,而飞秒激光三维(3D)打印技术凭借其适用多种材料... 无机材料因其卓越的机械性能、化学稳定性和耐高温特性,广泛应用于航空航天、电子设备、光学器件等领域。然而,传统无机材料制造方法因工艺复杂、精度不足等限制难以满足高性能器件需求,而飞秒激光三维(3D)打印技术凭借其适用多种材料的能力和出色的空间分辨率,为无机微纳结构制造开辟了新路径。近年来,基于无机材料的飞秒激光3 D打印技术取得了重要进展,涵盖有机-无机复合材料和纯无机材料两大工艺。复合材料打印通过将无机成分掺入有机树脂光刻胶,结合双光子聚合技术(TPP)制备高性能结构;纯无机材料打印则直接利用无机前驱体或纳米颗粒,通过激光诱导反应构建无机结构。相比传统工艺,该技术在光学微器件、微机电系统(MEMS)及生命科学等领域展现出显著优势。然而,其在材料选择、加工效率和结构稳定性方面仍面临挑战。本报告系统总结了飞秒激光3D打印无机材料的工艺与应用进展,并深入探讨了其技术瓶颈及解决方案。未来,随着新型光敏材料、共混技术和激光打印方法的发展,该技术有望实现更高效、更精确的微纳制造,并在复杂光纤系统、微纳光子学及生命科学等领域展现更广阔的应用前景。 展开更多
关键词 飞秒激光3D打印 无机材料 光学器件 MEMS传感 生命科学
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微机电陀螺自动静电调谐及智能优化方法
8
作者 李崇 张帅 +2 位作者 曾铭斐 张侠 董科 《中国惯性技术学报》 北大核心 2025年第4期367-375,共9页
针对微机电(MEMS)陀螺参数机理复杂、调谐电压标定过程困难的问题,提出了一种基于精准误差辨识与复合粒子搜索的调谐电压自动整定算法。首先通过MEMS陀螺动力学建模分析了自动调谐原理及可行性;然后通过设计精准频差和耦合辨识方法,定... 针对微机电(MEMS)陀螺参数机理复杂、调谐电压标定过程困难的问题,提出了一种基于精准误差辨识与复合粒子搜索的调谐电压自动整定算法。首先通过MEMS陀螺动力学建模分析了自动调谐原理及可行性;然后通过设计精准频差和耦合辨识方法,定量分析MEMS陀螺两模态的频差大小和正交耦合程度;最后设计了基于网格搜索和粒子群优化算法复合式调谐电压自动搜索算法,利用自动控制方法实现了对MEMS陀螺静电调谐参数最优化整定。实验结果表明,该算法标定后的陀螺频差小于10mHz,正交耦合程度小于5%;不仅实现了无人值守的全自动参数整定,且相比于人工标定,两个测试陀螺的零偏不稳定性得到了进一步优化,零偏不稳定性分别从1.05(°)/h、0.76(°)/h提升至0.67(°)/h、0.47(°)/h,提升了36%以上,结果的一致性分别从0.145(°)/h、0.070(°)/h提升至0.043(°)/h、0.029(°)/h,提高了58%以上,验证了所提方法的优越性。 展开更多
关键词 微机电陀螺 静电调谐 频差与正交耦合 自动整定
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双向高过载硅基差压敏感元件的研制
9
作者 杜立群 李奥奇 +3 位作者 李蒙 杨晓臣 孟祥悦 邱汇烽 《光学精密工程》 北大核心 2025年第2期209-219,共11页
为了提高差压传感器的双向过载能力,本文设计了一种梁-群岛错位膜结构差压敏感元件。该敏感元件由梁-群岛硅膜结构和玻璃基底键合而成。其中,梁结构降低了应力集中,群岛结构提高了结构刚度;玻璃基底键合面设计有方形凹槽和圆形通孔,硅... 为了提高差压传感器的双向过载能力,本文设计了一种梁-群岛错位膜结构差压敏感元件。该敏感元件由梁-群岛硅膜结构和玻璃基底键合而成。其中,梁结构降低了应力集中,群岛结构提高了结构刚度;玻璃基底键合面设计有方形凹槽和圆形通孔,硅膜结构和玻璃基底的方形凹槽形成的错位结构进一步降低了最大应力。首先,通过有限元软件分析了双向高过载硅基差压敏感元件的应力分布、敏感元件的满量程输出及最大应力。其次,分析了结构尺寸与爆破压力的关系,采用尺寸优化求解出最大爆破压力下的结构尺寸。最后,通过MEMS硅工艺制作了具有双向高过载的硅基差压敏感元件。压力测试结果表明:制得的双向高过载硅基差压敏感元件的爆破压力为8.5倍量程,与传统C型膜结构差压敏感元件(爆破压力6.5倍量程)相比,过载能力提高了30.7%。实验结果证明梁-群岛错位膜结构可以有效提高差压敏感元件的双向过载能力。 展开更多
关键词 MEMS 差压敏感元件 有限元 尺寸优化 过载能力
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高精度MEMS硅陀螺仪接口ASIC设计
10
作者 张欢 陈伟平 +3 位作者 张文博 王一行 付强 尹亮 《遥测遥控》 2025年第3期42-50,共9页
为满足惯性导航、自动驾驶等领域的应用需求,实现微电子机械系统(MEMS)硅陀螺仪向高精度、数字化和微小型化的方向发展,本文基于0.35μm BCD工艺(双极型-互补金属氧化物半导体-双扩散金属氧化物半导体工艺),采用单芯片集成方式,设计并... 为满足惯性导航、自动驾驶等领域的应用需求,实现微电子机械系统(MEMS)硅陀螺仪向高精度、数字化和微小型化的方向发展,本文基于0.35μm BCD工艺(双极型-互补金属氧化物半导体-双扩散金属氧化物半导体工艺),采用单芯片集成方式,设计并实现了一款具有数字化输出的MEMS硅陀螺仪接口电路。采用基于噪声自激的闭环驱动方案,使陀螺仪在驱动方向上实现简谐振动。检测电路使用低噪声电容-电压(C/V)转换电路,将检测模态位移信号转换为电压信号。信号处理通过开关相敏解调技术进行精确解调,并结合低通滤波处理,有效抑制系统噪声,从而获得低噪声的模拟角速度输出信号。为了实现硅陀螺角速度的数字化输出,设计了集成的四阶全前馈Sigma-Delta(ΣΔ)模数转换器(ADC),将模拟角速度信号转换为数字信号。芯片测试结果表明:ΣΔ调制器的动态范围达到110 dB,低频噪底约为-120 dB。陀螺整机的量程为±200(°)/s,标度因数为21310 LSB/((°)/s)(最低有效位每度每秒),非线性误差为178×10^(-6),零偏不稳定性为0.259(°)/h,角度随机游走为0.0287(°)/√h(度每平方根小时)。该芯片面积为4.3 mm×4.3 mm。通过采用单片集成的接口ASIC(专用集成电路)替代传统的PCB(印制电路板)板级系统,显著提高了系统集成度,成功满足了MEMS硅陀螺微小型化的需求,推动了其在高精度数字化应用中的发展。 展开更多
关键词 MEMS 硅陀螺仪 接口ASIC ΣΔADC 数字输出
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基于ALD生长技术的高密度电容器件
11
作者 王敬轩 康建波 +2 位作者 商庆杰 宋洁晶 杨志 《电子工艺技术》 2025年第5期14-17,共4页
随着微电子芯片集成化程度的提高,电容器件对容值密度及击穿电压提出了更高的要求。介绍了一种基于微机械加工(Micro-Electron-Mechanical System,MEMS)技术和原子层淀积(Atomic Layer Deposition,ALD)的硅基高密度电容芯片的制备方法... 随着微电子芯片集成化程度的提高,电容器件对容值密度及击穿电压提出了更高的要求。介绍了一种基于微机械加工(Micro-Electron-Mechanical System,MEMS)技术和原子层淀积(Atomic Layer Deposition,ALD)的硅基高密度电容芯片的制备方法。该电容芯片采用MEMS工艺中常用的深孔刻蚀技术形成高深宽比的硅孔阵列,增大了电容芯片的表面积,从而提高了容值密度;采用原子层淀积技术,利用其原子级的精度控制生长介电常数高、孔内覆盖性好的Al_(2)O_(3)与HfO_(2)薄膜,并通过优化薄膜结构制备出高密度电容芯片。电容密度与击穿电场的乘积达到289.8(nF/mm^(2))·(MV/cm),比优化前提升60%以上,同时还可以降低器件的漏电流。 展开更多
关键词 微机械加工 高密度电容 原子层淀积
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基于MoSCoW模型的工程管理硕士人才培养需求研究
12
作者 王迎春 张琪 +1 位作者 王雷 耿文茹 《高教学刊》 2025年第24期164-167,共4页
工程管理硕士(MEM)专业学位教育培养兼具工程技术和管理能力的复合型人才,对推动我国工程领域技术创新和发展具有重要作用。该文基于专家访谈、问卷调查等方法获取原始数据,构建包括4个维度、20个类型的人才培养需求指标体系,整合分析... 工程管理硕士(MEM)专业学位教育培养兼具工程技术和管理能力的复合型人才,对推动我国工程领域技术创新和发展具有重要作用。该文基于专家访谈、问卷调查等方法获取原始数据,构建包括4个维度、20个类型的人才培养需求指标体系,整合分析数据后提出MEM人才培养对策:制定出体现高阶复合能力的培养目标;变革教学模式,构建“信息案例双场”教学方法;加强社会合作丰富案例库等。为高校较高综合素质、较强创新能力和适应能力的MEM人才培养提供解决方案。 展开更多
关键词 MEM人才培养 需求分析 MoSCoW模型 高阶复合 双场教学法
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基于MEMS压阻传感器的多点微弱振动信号检测系统
13
作者 王红亮 王雨馨 +1 位作者 高春林 林宏 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第9期6-10,60,共6页
针对多体飞行器分离时产生的微弱振动信号振动范围广、幅度低、频率成分复杂等问题,设计了以压阻式MEMS加速度传感器及变换器为核心的微弱振动信号检测系统。系统由压阻式MEMS加速度传感器网络、采集存储器、地面测试台及上位机软件组... 针对多体飞行器分离时产生的微弱振动信号振动范围广、幅度低、频率成分复杂等问题,设计了以压阻式MEMS加速度传感器及变换器为核心的微弱振动信号检测系统。系统由压阻式MEMS加速度传感器网络、采集存储器、地面测试台及上位机软件组成。前端传感器网络响应的多点微弱振动信号经过变换器内的调理电路进行调理后以标准电信号输出到采集存储器,搭配测试台和上位机软件完成振动信号数据的回读及绘图分析。试验结果表明:系统可以准确检测16个点位±2000 mg范围内的微弱振动信号并进行绘图分析,整体非线性度为0.58%,分辨率为0.1 mg,结构可靠,工作稳定。 展开更多
关键词 微弱振动信号检测 MEMS传感器 变换器 采集存储器 调理电路 绘图分析
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智能手机GNSS/MEMS IMU车载组合导航的安装角估计算法
14
作者 王甫红 程雨欣 +1 位作者 赵广越 张万威 《武汉大学学报(信息科学版)》 北大核心 2025年第10期1948-1956,共9页
针对智能手机车载导航时因安装角未知而降低全球导航卫星系统(global navigation satellite system,GNSS)/惯性导航系统组合导航精度与性能的问题,在智能手机GNSS/微机械惯性测量单元(micro-electro-mechanical system inertial measure... 针对智能手机车载导航时因安装角未知而降低全球导航卫星系统(global navigation satellite system,GNSS)/惯性导航系统组合导航精度与性能的问题,在智能手机GNSS/微机械惯性测量单元(micro-electro-mechanical system inertial measurement unit,MEMS IMU)紧组合导航算法的基础上,提出以载波相位时间差分计算得出的历元间位置变化量来构建安装角估计的观测方程,并在线估计智能手机车载导航安装角的卡尔曼滤波算法。在典型城市环境的两组车载实验结果表明,所提算法在较为严重的遮挡环境下可在80 s内实现大安装角初始化,安装角滤波器收敛后安装角波动在2°以内。安装角估计成功后,使用非完整性约束算法,严重遮挡条件下车载组合导航的精度与性能得到明显提升,平面位置与高程的精度统计均能维持在5 m左右。所提算法不需要增加里程计等辅助设备,能够较快实现智能手机大安装角的精确估计。 展开更多
关键词 安装角估计 非完整性约束 智能手机 GNSS/MEMS IMU组合导航 车载导航
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振动整流误差(VRE)引发地震烈度仪波形异常分析与器件选型
15
作者 杨桂存 赵立军 《地震地磁观测与研究》 2025年第3期142-149,共8页
2023年8月6日,山东德州市平原县发生M_(S)5.5地震,部分地震烈度仪垂直向记录出现伴有零点漂移和异常振幅的波形异常。振动台测试与数据分析证实,该异常与设备所用MEM_(S)加速度计的振动整流误差(vibration rectification error,VRE)性... 2023年8月6日,山东德州市平原县发生M_(S)5.5地震,部分地震烈度仪垂直向记录出现伴有零点漂移和异常振幅的波形异常。振动台测试与数据分析证实,该异常与设备所用MEM_(S)加速度计的振动整流误差(vibration rectification error,VRE)性能密切相关。采用三轴向振动试验系统对设备进行50—400 Hz、0.5g多轴扫频振动测试,结果发现:使用LIS344器件的设备在150 Hz以上频段复现出异常波形;而采用VRE性能更优的ADXL355器件的设备则未出现异常响应。因此,VRE应作为地震烈度仪MEM_(S)加速度计选型的关键考虑因素;多轴扫频振动测试可作为评估设备VRE风险、辅助器件选型的重要技术手段。 展开更多
关键词 MEMS加速度计 振动整流误差(VRE) 地震烈度仪 扫频振动测试
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可调谐MEMS-VCSEL微桥梁制备及其应力的影响 被引量：1
16
作者 朱鲁江 孙玉润 +2 位作者 张琪 于淑珍 董建荣 《半导体技术》 北大核心 2025年第6期589-594,共6页
针对微电子机械系统(MEMS)的垂直腔面发射激光器(VCSEL)中静电驱动微桥梁结构制备工艺开展研究,旨在制备平直的悬空微桥梁结构,并通过工艺优化提高其可靠性。利用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法刻蚀Ge牺牲层,这种方法既能够防止湿法腐... 针对微电子机械系统(MEMS)的垂直腔面发射激光器(VCSEL)中静电驱动微桥梁结构制备工艺开展研究,旨在制备平直的悬空微桥梁结构,并通过工艺优化提高其可靠性。利用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法刻蚀Ge牺牲层,这种方法既能够防止湿法腐蚀横向刻蚀过多,还可以提高Ge和底部电极Ti的刻蚀比。通过XeF_(2)气体干法刻蚀去除剩余的Ge以释放微桥梁结构,避免湿法腐蚀释放造成的微桥梁结构与衬底粘附问题,测试结果表明XeF_(2)横向腐蚀Ge的速率高达150μm/min。此外,选用SiNx介质作为微桥梁结构层,并通过优化等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺条件调控薄膜应力为低张应力,解决了残余应力导致的微桥梁结构弯曲和断裂问题,制备了平直的悬空微桥梁结构。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 微桥梁结构 Ge刻蚀 XeF_(2)干法刻蚀 残余应力
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一种低频高灵敏度压电MEMS声接收器设计 被引量：2
17
作者 王登攀 黄晶 +7 位作者 赵德锋 王飞 王露 刘文怡 苗晋威 张立宇 袁宇鹏 胡义东 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期28-31,58,共5页
为了提高低频段的灵敏度,基于ScAlN薄膜设计了一种开缝式低频高灵敏度MEMS声传感器结构,并分析了开缝数量对谐振频率和电压输出的影响规律。制作微机电系统(MEMS)声接收器样品,当谐振频率为29.3 kHz时,在20~30 kHz内测得其最高灵敏度高... 为了提高低频段的灵敏度,基于ScAlN薄膜设计了一种开缝式低频高灵敏度MEMS声传感器结构,并分析了开缝数量对谐振频率和电压输出的影响规律。制作微机电系统(MEMS)声接收器样品,当谐振频率为29.3 kHz时,在20~30 kHz内测得其最高灵敏度高于-60 dB,说明所提出的开缝式结构能在低频段实现高灵敏度。 展开更多
关键词 压电薄膜 微机电系统(MEMS) 声接收器
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低量程抗冲击双轴微加速度计设计 被引量：2
18
作者 帅清 石云波 +1 位作者 赵锐 张志峰 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第4期92-95,100,共5页
针对常规武器弹药的外弹道信息测量过程中,低量程MEMS加速度传感器在上万g_(n)过载环境下的损坏问题,本文提出了一种双轴抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载3×10^(4)g_(n)量程50 g_(n)的指标要求。有限元仿真结果表明:在50 g_(n... 针对常规武器弹药的外弹道信息测量过程中,低量程MEMS加速度传感器在上万g_(n)过载环境下的损坏问题,本文提出了一种双轴抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载3×10^(4)g_(n)量程50 g_(n)的指标要求。有限元仿真结果表明:在50 g_(n)载荷作用下,加速度计敏感单元在Y轴位移为1.476μm,灵敏度为0.730 pF/g_(n),在X轴位移为1.476μm,灵敏度为0.382 pF/g_(n)引入嵌入式双轴叉齿止挡缓冲结构的加速度传感器,在3×10^(4)g_(n)过载作用X轴下的梳齿最大位移为3.129μm,Y轴下的梳齿最大位移为3.042μm,均小于最小梳齿间距4μm,有效避免了短路。最大等效应力X轴,Y轴分别为180.880 MPa和85.136 MPa,均远小于硅(Si)的许用应力。 展开更多
关键词 双轴加速度计 抗冲击 电容式 低量程 嵌入式止挡结构 微机电系统
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MEMS环形谐振陀螺驱动模态控制方法研究 被引量：1
19
作者 寇志伟 崔啸鸣 +2 位作者 尹煜 李娜 齐咏生 《电子测量技术》 北大核心 2025年第12期42-48,共7页
为了有效控制微机电环形谐振陀螺驱动模态的工作状态,提高驱动幅值的稳定性能与谐振频率的实时跟踪性能,本文提出了一种基于相位控制与自动增益控制的驱动模态闭环控制方案。首先,基于环形谐振陀螺的动力学特性与机电接口特点,设计了对... 为了有效控制微机电环形谐振陀螺驱动模态的工作状态,提高驱动幅值的稳定性能与谐振频率的实时跟踪性能,本文提出了一种基于相位控制与自动增益控制的驱动模态闭环控制方案。首先,基于环形谐振陀螺的动力学特性与机电接口特点,设计了对称静电驱动-差动电容敏感的机电接口,提出了基于相位控制与自动增益控制的闭环驱动控制方案;其次,构建了闭环驱动控制方案的机电耦合仿真模型,对驱动模态的自激振荡控制、幅值稳定性与频率跟踪状态进行了仿真,验证了系统的动态性能。最后,基于上述方案设计了驱动模态闭环控制电路,实验测试了电路性能。实验结果表明,该电路的驱动激励信号频率能够很好的跟踪陀螺驱动模态谐振频率的变化;在-40℃~60℃温度环境内变化时,驱动检测电压变化范围低于5.08%,幅值随温度的相对变化率小于0.059%,符合全温区稳幅驱动的要求。 展开更多
关键词 微机电 环形谐振陀螺 驱动模态 闭环控制 相位控制
原文传递
基于MEMS和无线通信的余震流动监测预警系统 被引量：1
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作者 周浩 朱景宝 +1 位作者 宋晋东 李山有 《世界地震工程》 北大核心 2025年第1期133-144,共12页
余震作为地震后的主要次生灾害,对救援人员和受灾区域的安全构成严重威胁。为了有效监测余震活动并为救援行动提供及时信息,针对缺乏公共网络支持、需要高度机动性和适应复杂环境的监测背景,构建了一种基于MEMS(Micro-Electro-Mechanica... 余震作为地震后的主要次生灾害,对救援人员和受灾区域的安全构成严重威胁。为了有效监测余震活动并为救援行动提供及时信息,针对缺乏公共网络支持、需要高度机动性和适应复杂环境的监测背景,构建了一种基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)传感器和无线通信技术的余震流动监测预警系统。该系统通过临时部署可移动的余震流动监测单元,实时采集和分析地震数据,增强对地震活动的监测、分析和预警能力。硬件设计方面,系统采用了高精度MEMS三轴加速度传感器作为地震数据采集端,通过24位模数转换芯片将模拟信号转换为数字信号,并利用单片机进行数据处理,使用本地存储和终端存储确保数据的安全性,使用无线通信技术将地震波形数据传输到余震监测中心。软件设计方面,系统嵌入支持向量机现地地震动峰值预测模型,以实现对现地地震动峰值的预测。系统测试结果表明:余震流动监测预警系统能够有效采集地震加速度数据,并准确预测地震动峰值,发出可靠警报。通过测试,系统显示出在余震监测预警中的准确性、时效性与可靠性,对于指导救援行动和保证救援安全具有重要的实际意义。 展开更多
关键词 余震监测 流动监测 MEMS传感器 无线通信技术 机器学习
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