期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到7,372篇文章
< 1 2 … 250 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
MEM-300-E型快速成型机影响成型因素的分析 被引量：2
1
作者 邵海军 沈元元 《黑龙江科技信息》 2012年第24期36-36,共1页
通过叙述快速成型技术在成型过程中,成型精度的好坏受到哪些因素的影响,就各方面的因素进行分析,从中找到好的方法进行改善,为以后从事或加工成型类零件能够获得好的精度留下依据。
关键词 快速成型 成型精度 mem-300-E型快速成型机
在线阅读 下载PDF
新型微杠杆增强MEMS加速度计的设计与制作
2
作者 耿志鹏 苗斌 +3 位作者 冯昌坤 陶金燕 李淑娴 李加东 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第1期106-110,共5页
为提升MEMS加速度计的灵敏度,提出并设计了一种新型微杠杆增强MEMS加速度计。利用有限元分析工具对有、无微杠杆结构的双摆式加速度计进行了仿真计算。结果显示增加杠杆结构后扭转梁的等效应力集中只有无杠杆结构时等效应力水平的47%,... 为提升MEMS加速度计的灵敏度,提出并设计了一种新型微杠杆增强MEMS加速度计。利用有限元分析工具对有、无微杠杆结构的双摆式加速度计进行了仿真计算。结果显示增加杠杆结构后扭转梁的等效应力集中只有无杠杆结构时等效应力水平的47%,并且检验质量块位移为无杠杆结构时的3.5倍。进一步对杠杆结构辅助双摆式加速度计进行了工艺路线设计和制作,并将敏感结构与信号检测电路进行了集成。测试结果表明:新型加速度计的灵敏度达到179.13 mV/g,通过零偏稳定性计算,Allan方差为2.15 mg/h。研究结果可以为MEMS加速度计提升灵敏度的研究提供参考。 展开更多
关键词 MEMS加速度计 微杠杆 灵敏度 零偏稳定性
在线阅读 下载PDF
气溶胶喷印银膜换能元制备及安保机构集成设计
3
作者 董世豪 刘凤丽 +1 位作者 郝永平 王洪星 《微纳电子技术》 2026年第1期41-46,共6页
针对火工品换能元制备工艺复杂、加工一致性难以保证、材料使用率低等问题,同时满足微机电系统(MEMS)火工品向智能化、微型化与集成化方向发展的需求,开展了MEMS起爆器与MEMS安保机构总体集成设计,提出了一种基于高精度气溶胶喷印设备... 针对火工品换能元制备工艺复杂、加工一致性难以保证、材料使用率低等问题,同时满足微机电系统(MEMS)火工品向智能化、微型化与集成化方向发展的需求,开展了MEMS起爆器与MEMS安保机构总体集成设计,提出了一种基于高精度气溶胶喷印设备制备银膜换能元的方法。集成后的安保机构整体尺寸为12.8 mm×8.5 mm×2.2 mm。通过场发射扫描电子显微镜对换能元桥的形貌及厚度进行表征。银膜换能元电阻为(1.5±0.1)Ω,桥区厚度为10μm,表面连续无缺陷。对其发火性能进行测试,结果表明,在不同输入电压下存在电热、电爆两种情况,蘸有三硝基间苯二酚铅(LTNR)的银膜桥能在2 mm传火间隙下引爆压药密度为1.6 g/cm^(3)的硼硝酸钾药柱。 展开更多
关键词 气溶胶喷印 银膜换能元 微机电系统(MEMS)安保集成 三硝基间苯二酚铅(LTNR) 硼硝酸钾
原文传递
高动态薄膜温度传感器设计与仿真数据分析
4
作者 郑德智 李宗霖 +3 位作者 胡纯 王国俨 李中翔 那睿 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第1期78-83,共6页
为满足高铁牵引系统对高动态响应、高精度和高分辨率温度传感器的需求,通过优化芯片结构来提升MEMS铂(Pt)薄膜温度传感器的性能。尽管传统传感器在测量范围和稳定性方面表现出色,但在响应速度、分辨率和精度方面还有提升空间,特别是在... 为满足高铁牵引系统对高动态响应、高精度和高分辨率温度传感器的需求,通过优化芯片结构来提升MEMS铂(Pt)薄膜温度传感器的性能。尽管传统传感器在测量范围和稳定性方面表现出色,但在响应速度、分辨率和精度方面还有提升空间,特别是在薄膜和基底尺寸的优化方面研究不足。因此,开发了一种新型高动态薄膜温度传感器,采用绝缘体—氮化硅(Si_(3)N_(4))、电阻—铂、基底—氧化铝(Al_(2)O_(3))的结构。通过三维建模和COMSOL有限元仿真,深入分析了基底材料、薄膜和基底厚度参数对传感器性能的影响,最终确定了最优的结构参数。仿真结果表明:新型传感器在响应速度和测温精度上有显著提升,响应时间为50 ms,精度优于0.02K,分辨率达到0.001K。此外,这种高动态薄膜温度传感器的研发不仅对高铁牵引系统的温度监测具有重要意义,也为在其他高要求应用领域的潜在应用提供了基础。 展开更多
关键词 铂薄膜温度传感器 MEMS 高动态 结构优化 高精度
在线阅读 下载PDF
MEMS陀螺精度保持性的焊装工艺
5
作者 徐静 李航 师兰芳 《电子工艺技术》 2026年第1期20-24,共5页
基于硅微结构和陶瓷载板制造的MEMS陀螺仪作为一种以固态敏感质量微量波动进行载体位姿测量的微型惯性器件,其城堡式焊装结构在工艺上因焊装后支撑结构差异会直接影响陀螺仪零偏稳定性,特别是随低成本和环境工况的应用扩展,不断挤压陀... 基于硅微结构和陶瓷载板制造的MEMS陀螺仪作为一种以固态敏感质量微量波动进行载体位姿测量的微型惯性器件,其城堡式焊装结构在工艺上因焊装后支撑结构差异会直接影响陀螺仪零偏稳定性,特别是随低成本和环境工况的应用扩展,不断挤压陀螺仪精度余量。针对MEMS惯性组合焊装结构随复杂力热环境影响出现焊点疲劳变形以及焊装应力不平衡等因素对陀螺仪精度的有害影响开展分析,结合MEMS-IMU(微机电系统—惯性测量单元)焊装材料和设计结构特点,通过工艺仿真和相关验证给出利于焊装应力控制的精度保持工艺方案。 展开更多
关键词 MEMS陀螺 LCCC封装 焊接
在线阅读 下载PDF
基于MEMS仿生电子鼻的气味识别算法研究
6
作者 薛永霞 曾建华 +5 位作者 高文俊 郭瑞欣 李丹丹 苟建萍 刘美辰 冒文静 《价值工程》 2026年第2期103-105,共3页
本研究聚焦于基于MEMS仿生电子鼻的气味识别算法。深入探究实验系统构成,包括MEMS传感器选型与特性、数据采集硬件与软件设计。详尽阐述数据处理流程,涵盖16进制到十进制转换、归一化处理、多种特征提取方法及其数学原理与物理意义。深... 本研究聚焦于基于MEMS仿生电子鼻的气味识别算法。深入探究实验系统构成,包括MEMS传感器选型与特性、数据采集硬件与软件设计。详尽阐述数据处理流程,涵盖16进制到十进制转换、归一化处理、多种特征提取方法及其数学原理与物理意义。深入剖析SVM模型构建,从原理到核函数选择、参数优化方法,以及训练与测试策略。通过大量实验对空气和香水气味进行识别分析,探讨模型性能影响因素,包括数据采集环境、特征提取与模型参数,并与其他算法对比,提出改进方向与应用前景展望,为气味识别技术发展提供全面理论与实践参考。 展开更多
关键词 MEMS 气味识别算法 SVM模型 特征提取
在线阅读 下载PDF
基于XGBoost的UWB/MEMS IMU室内定位及精度分析
7
作者 罗力 《测绘工程》 2026年第1期92-96,共5页
针对基于UWB和MEMS惯性IMU的四轮机器人在复杂室内环境下,受传感器特性影响,其定位精度不能满足使用要求的问题,提出基于XGBoost的UWB/MEMS IMU四轮机器人室内定位方法。通过XGBoost对UWB的非视距数据识别并剔除以提高UWB数据质量,以及... 针对基于UWB和MEMS惯性IMU的四轮机器人在复杂室内环境下,受传感器特性影响,其定位精度不能满足使用要求的问题,提出基于XGBoost的UWB/MEMS IMU四轮机器人室内定位方法。通过XGBoost对UWB的非视距数据识别并剔除以提高UWB数据质量,以及添加结合四轮机器人运动状态的非完整约束来抑制MEMS IMU独立定位时的误差发散,采用改进的UWB/MEMS IMU紧组合算法来实现四轮机器人的室内定位。实验结果表明,在复杂的室内环境下,四轮机器人的平面定位精度在0.2 m以内,所提出的方法能有效地提高四轮机器人室内定位的精度和稳定性。 展开更多
关键词 超宽带、微机电惯性测量单元组合 极端梯度提升 室内定位 四轮机器人 非完整性约束
在线阅读 下载PDF
超声换能器微机电系统的研究现状及发展趋势
8
作者 叶鲜艳 王雪菲 +1 位作者 许博成 邱爱中 《微纳电子技术》 2026年第1期24-33,共10页
微机电系统(MEMS)加工技术推动了MEMS超声换能器向微型化、高效、高带宽、高频率方向发展,拓展了其在成像、检测、切割等领域的应用。在梳理主流应用的电容式微机械超声换能器(CMUT)、压电式微机械超声换能器(PMUT)的原理和微元结构现... 微机电系统(MEMS)加工技术推动了MEMS超声换能器向微型化、高效、高带宽、高频率方向发展,拓展了其在成像、检测、切割等领域的应用。在梳理主流应用的电容式微机械超声换能器(CMUT)、压电式微机械超声换能器(PMUT)的原理和微元结构现状的基础上,综述了元件相控阵列、激光超声,以及表面微加工工艺、晶圆键合技术等研究热点的代表性成果、发展趋势和技术挑战。总结了制造工艺低温沉积均匀性和晶圆键合集成工艺兼容性等亟待解决的技术瓶颈。针对超声换能器呈现的微型化、便携化、智能化与集成化的发展趋势,压电薄膜等新材料、微纳加工新工艺,以及人工智能(AI)和多模式集成将推动超声换能器的快速发展和更新。 展开更多
关键词 超声换能器 微机电系统(MEMS) 电容式微机械超声换能器(CMUT) 压电式微机械超声换能器(PMUT)
原文传递
矩形微同轴工艺研究与器件制备 被引量：1
9
作者 马强 王锐 +1 位作者 吴伟 马思阅 《半导体技术》 北大核心 2025年第9期908-914,共7页
在需要大带宽和低损耗的微波传输系统中,微电子机械系统(MEMS)工艺参数对矩形微同轴结构的射频(RF)性能影响较大。仿真分析了该微同轴内部导体表面粗糙度、内导体宽度、侧壁倾斜度与传输损耗、特性阻抗等射频参数的关系。结果表明,表面... 在需要大带宽和低损耗的微波传输系统中,微电子机械系统(MEMS)工艺参数对矩形微同轴结构的射频(RF)性能影响较大。仿真分析了该微同轴内部导体表面粗糙度、内导体宽度、侧壁倾斜度与传输损耗、特性阻抗等射频参数的关系。结果表明,表面粗糙度增大导致传输损耗单调增大,内导体宽度减小和侧壁倾斜度增大均导致特性阻抗变大。通过工艺实验验证了仿真结果并优化了相关参数。制作了矩形微同轴功分器、多零点带通滤波器样品并进行测试,验证了理论分析和工艺实验结果的一致性。本文研究结果可为下一代高频微系统的发展提供技术支持。 展开更多
关键词 矩形微同轴 微电子机械系统(MEMS) 工艺参数 功分器 滤波器
原文传递
高精度MEMS硅陀螺仪接口ASIC设计 被引量：1
10
作者 张欢 陈伟平 +3 位作者 张文博 王一行 付强 尹亮 《遥测遥控》 2025年第3期42-50,共9页
为满足惯性导航、自动驾驶等领域的应用需求,实现微电子机械系统(MEMS)硅陀螺仪向高精度、数字化和微小型化的方向发展,本文基于0.35μm BCD工艺(双极型-互补金属氧化物半导体-双扩散金属氧化物半导体工艺),采用单芯片集成方式,设计并... 为满足惯性导航、自动驾驶等领域的应用需求,实现微电子机械系统(MEMS)硅陀螺仪向高精度、数字化和微小型化的方向发展,本文基于0.35μm BCD工艺(双极型-互补金属氧化物半导体-双扩散金属氧化物半导体工艺),采用单芯片集成方式,设计并实现了一款具有数字化输出的MEMS硅陀螺仪接口电路。采用基于噪声自激的闭环驱动方案,使陀螺仪在驱动方向上实现简谐振动。检测电路使用低噪声电容-电压(C/V)转换电路,将检测模态位移信号转换为电压信号。信号处理通过开关相敏解调技术进行精确解调,并结合低通滤波处理,有效抑制系统噪声,从而获得低噪声的模拟角速度输出信号。为了实现硅陀螺角速度的数字化输出,设计了集成的四阶全前馈Sigma-Delta(ΣΔ)模数转换器(ADC),将模拟角速度信号转换为数字信号。芯片测试结果表明:ΣΔ调制器的动态范围达到110 dB,低频噪底约为-120 dB。陀螺整机的量程为±200(°)/s,标度因数为21310 LSB/((°)/s)(最低有效位每度每秒),非线性误差为178×10^(-6),零偏不稳定性为0.259(°)/h,角度随机游走为0.0287(°)/√h(度每平方根小时)。该芯片面积为4.3 mm×4.3 mm。通过采用单片集成的接口ASIC(专用集成电路)替代传统的PCB(印制电路板)板级系统,显著提高了系统集成度,成功满足了MEMS硅陀螺微小型化的需求,推动了其在高精度数字化应用中的发展。 展开更多
关键词 MEMS 硅陀螺仪 接口ASIC ΣΔADC 数字输出
在线阅读 下载PDF
华北一季作区中早熟马铃薯高产高效栽培技术 被引量：2
11
作者 祁利潘 王昕睿 +2 位作者 王烁凯 王磊 冯琰 《河北北方学院学报(自然科学版)》 2025年第1期49-53,10,共6页
华北一季作区传统马铃薯种植以中晚熟品种为主,近年来早熟品种因其上市时间灵活、市场价格优势显著,逐渐受到种植者青睐。为满足该区域对中早熟品种配套栽培技术的迫切需求,河北北方学院旱作农业研究中心针对中早熟品种的特点,通过系统... 华北一季作区传统马铃薯种植以中晚熟品种为主,近年来早熟品种因其上市时间灵活、市场价格优势显著,逐渐受到种植者青睐。为满足该区域对中早熟品种配套栽培技术的迫切需求,河北北方学院旱作农业研究中心针对中早熟品种的特点,通过系统研究播前准备、中耕培土、水肥管理、病虫草害防治及收获的全流程,建立了以优质品种选育、水肥药协同调控、病虫害综合防控为核心的华北一季作区中早熟马铃薯高效生产技术体系,为提升区域马铃薯生产效益提供技术支撑。 展开更多
关键词 马铃薯 中早熟 栽培技术 水肥一体化 病虫害防治
在线阅读 下载PDF
智能手机GNSS/MEMS IMU车载组合导航的安装角估计算法 被引量：1
12
作者 王甫红 程雨欣 +1 位作者 赵广越 张万威 《武汉大学学报(信息科学版)》 北大核心 2025年第10期1948-1956,共9页
针对智能手机车载导航时因安装角未知而降低全球导航卫星系统(global navigation satellite system,GNSS)/惯性导航系统组合导航精度与性能的问题,在智能手机GNSS/微机械惯性测量单元(micro-electro-mechanical system inertial measure... 针对智能手机车载导航时因安装角未知而降低全球导航卫星系统(global navigation satellite system,GNSS)/惯性导航系统组合导航精度与性能的问题,在智能手机GNSS/微机械惯性测量单元(micro-electro-mechanical system inertial measurement unit,MEMS IMU)紧组合导航算法的基础上,提出以载波相位时间差分计算得出的历元间位置变化量来构建安装角估计的观测方程,并在线估计智能手机车载导航安装角的卡尔曼滤波算法。在典型城市环境的两组车载实验结果表明,所提算法在较为严重的遮挡环境下可在80 s内实现大安装角初始化,安装角滤波器收敛后安装角波动在2°以内。安装角估计成功后,使用非完整性约束算法,严重遮挡条件下车载组合导航的精度与性能得到明显提升,平面位置与高程的精度统计均能维持在5 m左右。所提算法不需要增加里程计等辅助设备,能够较快实现智能手机大安装角的精确估计。 展开更多
关键词 安装角估计 非完整性约束 智能手机 GNSS/MEMS IMU组合导航 车载导航
原文传递
静电MEMS微镜垂直梳齿驱动器的设计
13
作者 吴云 彭安杰 +6 位作者 郑岩 张建祥 王雅昕 贺盈波 陈真 华宝成 乔大勇 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第9期41-46,共6页
垂直梳齿驱动的静电MEMS微镜在实现对光束的准静态和矢量偏转中具有显著优势,受到包括激光雷达、光通信、激光显示以及生物断层检测等应用领域的广泛关注。为了对垂直梳齿驱动器的性能进行优化,文中通过建立交错垂直梳齿(SVC)驱动的静电... 垂直梳齿驱动的静电MEMS微镜在实现对光束的准静态和矢量偏转中具有显著优势,受到包括激光雷达、光通信、激光显示以及生物断层检测等应用领域的广泛关注。为了对垂直梳齿驱动器的性能进行优化,文中通过建立交错垂直梳齿(SVC)驱动的静电MEMS微镜的理论模型,研究了可动梳齿和固定梳齿的交叠高度对静电MEMS微镜的静态偏转角度与两驱动电极压差的关系及其线性度的影响。理论结果表明:相同驱动压差下,SVC驱动的静电MEMS微镜静态偏转角度随着梳齿交叠高度的增大而减小,而静态偏转角度与两驱动电极压差的线性度随着梳齿交叠高度的增大先增大后减小,因此可以通过调节梳齿的交叠高度来优化静电MEMS微镜的最大静态偏转角度以及偏转角度与驱动压差的线性度,为静电MEMS微镜垂直梳齿驱动器的设计和参数优化提供参考。 展开更多
关键词 静电MEMS微镜 垂直梳齿 交叠高度 偏转角度 参数优化
在线阅读 下载PDF
微纳米三坐标测量机的技术进展
14
作者 何亚雄 李瑞君 +2 位作者 黄强先 程真英 范光照 《光学精密工程》 北大核心 2025年第23期3672-3690,共19页
超精密器件是国家重大装备与高端仪器的关键组成部分,其几何特征尺寸常介于数百微米至数百毫米之间,而精度要求高达数十至数百纳米。为确保此类器件的质量,必须实现其三维形貌的超精密测量。本文首先综述了微纳米三坐标测量机(Coordinat... 超精密器件是国家重大装备与高端仪器的关键组成部分,其几何特征尺寸常介于数百微米至数百毫米之间,而精度要求高达数十至数百纳米。为确保此类器件的质量,必须实现其三维形貌的超精密测量。本文首先综述了微纳米三坐标测量机(Coordinate Measuring Machine,CMM)的研究进展,从整机结构设计、误差补偿技术、纳米测头研制、测量环境控制及整机应用测试等方面进行了系统性归纳。其次,详细介绍了团队历经四代样机的研究成果与最新进展。进而,阐述了一种基于阿贝与布莱恩原则的空间误差建模与补偿创新方法,在此基础上,实现了对尺度小于100μm且具有高深宽比的内尺寸特征的纳米级精度测量。最后,对微纳米三坐标测量机未来的研究方向与应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 精密测量 微机电系统(MEMS) 三坐标测量机(CMM) 高深宽比结构 纳米探头 阿贝误差 空间误差补偿
在线阅读 下载PDF
MEMS气体传感器发展现状与对策
15
作者 苏铮 邢志鹏 +2 位作者 钟一红 许梦雪 孙旭辉 《传感技术学报》 北大核心 2025年第9期1533-1539,共7页
新型MEMS气体传感器具有功耗低、体积小、灵敏度高、选择性好、集成度高等优点而被广泛应用。随着物联网、微机电系统技术与人工智能的快速发展,利用MEMS气敏传感阵列与人工智能算法构建的人工嗅觉技术在更多的领域中发挥重要作用,实现... 新型MEMS气体传感器具有功耗低、体积小、灵敏度高、选择性好、集成度高等优点而被广泛应用。随着物联网、微机电系统技术与人工智能的快速发展,利用MEMS气敏传感阵列与人工智能算法构建的人工嗅觉技术在更多的领域中发挥重要作用,实现气体传感器从“功能实现”到“性能提升”到“智能化”的发展路线。从MEMS气体传感器的种类、气敏材料、传感机理及应用等方面描述了其研究现状,并聚焦MEMS气体传感器现存的问题,提出了未来的发展方向及相应对策。 展开更多
关键词 MEMS气体传感器 微热板 传感器微结构原理 策略
在线阅读 下载PDF
采煤机全位姿测量传感器系统研究与设计
16
作者 李曼 沈思怡 +2 位作者 刘俊棋 刘相通 曹现刚 《煤炭科学技术》 北大核心 2025年第S1期378-388,共11页
现有采煤机机身位置、姿态、滚筒高度等参数的测量中,存在方法和手段不足,测量装置一体化、集成化、智能化程度低、信息处理能力差、价格高等问题。首先,从采煤机运行实际出发,分析其运行过程中机身姿态、位置和滚筒高度变化规律及影响... 现有采煤机机身位置、姿态、滚筒高度等参数的测量中,存在方法和手段不足,测量装置一体化、集成化、智能化程度低、信息处理能力差、价格高等问题。首先,从采煤机运行实际出发,分析其运行过程中机身姿态、位置和滚筒高度变化规律及影响因素,建立机身位置解算模型和考虑机身姿态角的滚筒高度解算模型。其次,针对多参量测量,提出一种以微处理器为核心,由基于MEMS传感芯片的机身姿态传感器、里程传感器和左、右摇臂摆角传感器组成的主从式结构系统解决方案。再次,确定各参数的测量方法,设计3类传感器的硬件架构和电路—传感器以DSP-F28335为主控芯片,机身姿态主传感器由MPU6050惯导芯片为测量元件,摇臂摆角和里程传感器由TLE5012B角度芯片为测量元件。开发各传感器运行控制、数据采集与解算、通信等程序。最后,通过实验对传感器系统样机的误差进行测量,结果表明:旋转角度、横滚角、俯仰角、航向角、滚筒高度、机身X轴位置和Y轴位置的平均绝对误差分别为0.06°、0.02°、0.03°、0.15°、1.45 mm、2.64 mm、3.43 mm,平均相对误差分别为0.23%、0.16%、0.25%、1.54%、0.49%、0.53%、2.45%。 展开更多
关键词 采煤机位姿 滚筒高度 主从式传感器系统 DSP MEMS
在线阅读 下载PDF
基于IMOA的随钻陀螺仪误差补偿
17
作者 杨金显 李龙玺 张颖 《电子测量与仪器学报》 北大核心 2025年第11期64-71,共8页
针对陀螺仪误差参数受随钻测量环境影响难以辨识的问题,提出一种改进海猫算法(IMOA)对陀螺仪误差进行补偿。首先推导出陀螺仪误差模型并确定需要辨识的误差参数,利用加速度计输出特性建立目标函数并根据内积特性与磁模值相对误差设置约... 针对陀螺仪误差参数受随钻测量环境影响难以辨识的问题,提出一种改进海猫算法(IMOA)对陀螺仪误差进行补偿。首先推导出陀螺仪误差模型并确定需要辨识的误差参数,利用加速度计输出特性建立目标函数并根据内积特性与磁模值相对误差设置约束条件。采用海猫算法(MOA)算法求解误差向量的最优值。在MOA算法的基础上,以加速计相对模值误差重新设置步长,自适应地追踪随钻环境引起的陀螺仪信号改变;设计引导式螺旋全局更新方式,在更新中设置引导因子判断当前搜索方向的优劣并利用逐维奖励机制使得不同参数在信息交流时,较大程度保留了最优解,防止陷入局部最优。设置局部迁移路线,重新定义偏差为当前个体辨识的误差参数与历史最优误差参数的笛卡尔距离;同时加入逐维扰动策略,保留各维误差参数的最优解。最后将IMOA算法应用于识别陀螺仪误差参数,结果表明,IMOA算法补偿后的陀螺输出误差明显减小,井斜角误差由9.54°降低至2.53°,相对于PSO算法和MOA算法具有更高的识别精度。 展开更多
关键词 随钻测量 MEMS陀螺仪 海猫算法 误差补偿
原文传递
超快激光3D打印无机材料技术及应用(特邀)
18
作者 廖常锐 方浩锐 +3 位作者 朱德志 何智明 陈文涛 王义平 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第4期64-85,共22页
无机材料因其卓越的机械性能、化学稳定性和耐高温特性,广泛应用于航空航天、电子设备、光学器件等领域。然而,传统无机材料制造方法因工艺复杂、精度不足等限制难以满足高性能器件需求,而飞秒激光三维(3D)打印技术凭借其适用多种材料... 无机材料因其卓越的机械性能、化学稳定性和耐高温特性,广泛应用于航空航天、电子设备、光学器件等领域。然而,传统无机材料制造方法因工艺复杂、精度不足等限制难以满足高性能器件需求,而飞秒激光三维(3D)打印技术凭借其适用多种材料的能力和出色的空间分辨率,为无机微纳结构制造开辟了新路径。近年来,基于无机材料的飞秒激光3 D打印技术取得了重要进展,涵盖有机-无机复合材料和纯无机材料两大工艺。复合材料打印通过将无机成分掺入有机树脂光刻胶,结合双光子聚合技术(TPP)制备高性能结构;纯无机材料打印则直接利用无机前驱体或纳米颗粒,通过激光诱导反应构建无机结构。相比传统工艺,该技术在光学微器件、微机电系统(MEMS)及生命科学等领域展现出显著优势。然而,其在材料选择、加工效率和结构稳定性方面仍面临挑战。本报告系统总结了飞秒激光3D打印无机材料的工艺与应用进展,并深入探讨了其技术瓶颈及解决方案。未来,随着新型光敏材料、共混技术和激光打印方法的发展,该技术有望实现更高效、更精确的微纳制造,并在复杂光纤系统、微纳光子学及生命科学等领域展现更广阔的应用前景。 展开更多
关键词 飞秒激光3D打印 无机材料 光学器件 MEMS传感 生命科学
原文传递
微机电陀螺自动静电调谐及智能优化方法
19
作者 李崇 张帅 +2 位作者 曾铭斐 张侠 董科 《中国惯性技术学报》 北大核心 2025年第4期367-375,共9页
针对微机电(MEMS)陀螺参数机理复杂、调谐电压标定过程困难的问题,提出了一种基于精准误差辨识与复合粒子搜索的调谐电压自动整定算法。首先通过MEMS陀螺动力学建模分析了自动调谐原理及可行性;然后通过设计精准频差和耦合辨识方法,定... 针对微机电(MEMS)陀螺参数机理复杂、调谐电压标定过程困难的问题,提出了一种基于精准误差辨识与复合粒子搜索的调谐电压自动整定算法。首先通过MEMS陀螺动力学建模分析了自动调谐原理及可行性;然后通过设计精准频差和耦合辨识方法,定量分析MEMS陀螺两模态的频差大小和正交耦合程度;最后设计了基于网格搜索和粒子群优化算法复合式调谐电压自动搜索算法,利用自动控制方法实现了对MEMS陀螺静电调谐参数最优化整定。实验结果表明,该算法标定后的陀螺频差小于10mHz,正交耦合程度小于5%;不仅实现了无人值守的全自动参数整定,且相比于人工标定,两个测试陀螺的零偏不稳定性得到了进一步优化,零偏不稳定性分别从1.05(°)/h、0.76(°)/h提升至0.67(°)/h、0.47(°)/h,提升了36%以上,结果的一致性分别从0.145(°)/h、0.070(°)/h提升至0.043(°)/h、0.029(°)/h,提高了58%以上,验证了所提方法的优越性。 展开更多
关键词 微机电陀螺 静电调谐 频差与正交耦合 自动整定
在线阅读 下载PDF
双向高过载硅基差压敏感元件的研制
20
作者 杜立群 李奥奇 +3 位作者 李蒙 杨晓臣 孟祥悦 邱汇烽 《光学精密工程》 北大核心 2025年第2期209-219,共11页
为了提高差压传感器的双向过载能力,本文设计了一种梁-群岛错位膜结构差压敏感元件。该敏感元件由梁-群岛硅膜结构和玻璃基底键合而成。其中,梁结构降低了应力集中,群岛结构提高了结构刚度;玻璃基底键合面设计有方形凹槽和圆形通孔,硅... 为了提高差压传感器的双向过载能力,本文设计了一种梁-群岛错位膜结构差压敏感元件。该敏感元件由梁-群岛硅膜结构和玻璃基底键合而成。其中,梁结构降低了应力集中,群岛结构提高了结构刚度;玻璃基底键合面设计有方形凹槽和圆形通孔,硅膜结构和玻璃基底的方形凹槽形成的错位结构进一步降低了最大应力。首先,通过有限元软件分析了双向高过载硅基差压敏感元件的应力分布、敏感元件的满量程输出及最大应力。其次,分析了结构尺寸与爆破压力的关系,采用尺寸优化求解出最大爆破压力下的结构尺寸。最后,通过MEMS硅工艺制作了具有双向高过载的硅基差压敏感元件。压力测试结果表明:制得的双向高过载硅基差压敏感元件的爆破压力为8.5倍量程,与传统C型膜结构差压敏感元件(爆破压力6.5倍量程)相比,过载能力提高了30.7%。实验结果证明梁-群岛错位膜结构可以有效提高差压敏感元件的双向过载能力。 展开更多
关键词 MEMS 差压敏感元件 有限元 尺寸优化 过载能力
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 250 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部