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MEM-300-E型快速成型机影响成型因素的分析 被引量:2
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作者 邵海军 沈元元 《黑龙江科技信息》 2012年第24期36-36,共1页
通过叙述快速成型技术在成型过程中,成型精度的好坏受到哪些因素的影响,就各方面的因素进行分析,从中找到好的方法进行改善,为以后从事或加工成型类零件能够获得好的精度留下依据。
关键词 快速成型 成型精度 mem-300-E型快速成型机
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引信MEMS安全系统远距离解除保险机构研究现状
2
作者 李志鹏 何博 +1 位作者 冯恒振 娄文忠 《探测与控制学报》 北大核心 2026年第1期31-37,共7页
MEMS安全系统具有微型化、集成化、可大批量生产的优势,是推动未来引信技术发展,实现引信整体效能提升的重要途径。远距离解除保险机构作为MEMS安全系统的核心模块之一,在国内外得到了深入的研究。针对MEMS安全系统远距离解除保险机构... MEMS安全系统具有微型化、集成化、可大批量生产的优势,是推动未来引信技术发展,实现引信整体效能提升的重要途径。远距离解除保险机构作为MEMS安全系统的核心模块之一,在国内外得到了深入的研究。针对MEMS安全系统远距离解除保险机构研究进展,在收集、分析国内外文献资料的基础上,总结了远距离解除保险机构发展现状;按照延期形式,将MEMS安全系统远距离解除保险机构划分并对各自的典型结构进行分析,展望了MEMS安全系统远距离解除保险机构的未来发展趋势。 展开更多
关键词 安全系统 微机电系统 远距离解除保险机构 钟表机构 微小型作动器
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低噪声MEMS压电式水听器模拟前端专用芯片设计
3
作者 刘云涛 于洋 +2 位作者 黄志衡 方硕 王立晶 《实验技术与管理》 北大核心 2026年第1期122-130,共9页
MEMS压电式水听器需要使用模拟前端对产生的信号进行预处理,但当前水听器的模拟前端大都基于板级方案,检测性能、集成度和适用范围有待提高,需要设计一款模拟前端专用芯片实现MEMS压电式水听器系统的微型化、阵列化。首先根据MEMS压电... MEMS压电式水听器需要使用模拟前端对产生的信号进行预处理,但当前水听器的模拟前端大都基于板级方案,检测性能、集成度和适用范围有待提高,需要设计一款模拟前端专用芯片实现MEMS压电式水听器系统的微型化、阵列化。首先根据MEMS压电式水听器的特点和需求,确定了芯片的系统架构;其次设计了自动增益控制环路、可编程增益放大器和频带可变低通滤波器,拓宽了芯片的适用范围;最后将斩波结合自调零的降噪技术用于芯片,以满足水听器低噪声测量的要求。基于0.18μm CMOS工艺对模拟前端芯片进行设计,后仿真结果显示所设计电路在1 k Hz时等效输入噪声功率谱密度为59 n V/√Hz,输入电荷量与输出电压的非线性误差小于1.26%。验证了模拟前端专用芯片可以对MEMS压电式水听器产生的低频微弱信号实现低噪声放大。 展开更多
关键词 MEMS压电式水听器 低噪声 模拟前端 电荷灵敏放大器
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新型微杠杆增强MEMS加速度计的设计与制作
4
作者 耿志鹏 苗斌 +3 位作者 冯昌坤 陶金燕 李淑娴 李加东 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第1期106-110,共5页
为提升MEMS加速度计的灵敏度,提出并设计了一种新型微杠杆增强MEMS加速度计。利用有限元分析工具对有、无微杠杆结构的双摆式加速度计进行了仿真计算。结果显示增加杠杆结构后扭转梁的等效应力集中只有无杠杆结构时等效应力水平的47%,... 为提升MEMS加速度计的灵敏度,提出并设计了一种新型微杠杆增强MEMS加速度计。利用有限元分析工具对有、无微杠杆结构的双摆式加速度计进行了仿真计算。结果显示增加杠杆结构后扭转梁的等效应力集中只有无杠杆结构时等效应力水平的47%,并且检验质量块位移为无杠杆结构时的3.5倍。进一步对杠杆结构辅助双摆式加速度计进行了工艺路线设计和制作,并将敏感结构与信号检测电路进行了集成。测试结果表明:新型加速度计的灵敏度达到179.13 mV/g,通过零偏稳定性计算,Allan方差为2.15 mg/h。研究结果可以为MEMS加速度计提升灵敏度的研究提供参考。 展开更多
关键词 MEMS加速度计 微杠杆 灵敏度 零偏稳定性
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基于内置MEMS传感器的单元火工品原位压力监测方法
5
作者 陈絮 吴瑞德 +4 位作者 杨莉 郭晓荣 陈小松 丁茂元 张欣 《火工品》 北大核心 2026年第1期8-13,共6页
为破解单元火工品全寿命周期“不可检、不可修”导致的可靠性评价盲区,本文提出一种“零接口改动”的内置MEMS原位监测技术。以双桥四针电起爆器为载体,在电极塞对称双凹槽内同步贴装SOI压阻压力微传感器与半导体桥发火芯片。标定结果显... 为破解单元火工品全寿命周期“不可检、不可修”导致的可靠性评价盲区,本文提出一种“零接口改动”的内置MEMS原位监测技术。以双桥四针电起爆器为载体,在电极塞对称双凹槽内同步贴装SOI压阻压力微传感器与半导体桥发火芯片。标定结果显示:0~5 MPa范围内传感器平均灵敏度1.636 mV·MPa^(-1),线性度R2≥0.999;1A安全电流下首次捕捉到1.3 MPa热-固体膨胀瞬态峰,揭示桥-药剂界面约束应力机制;5A发火状态下微传感器测得21.7MPa,较侧壁标准传感器高6 MPa,响应滞后<0.3 ms。该方案将传统“桥丝电阻”间接判据升级为“温度-压力”直接物理量,具备通用接口、可扩展、可批量制造等优势,为火工品健康监测与数据驱动设计提供了通用、便携的新途径。 展开更多
关键词 单元火工品 原位监测 MEMS微传感器 热-固体膨胀 压力监测
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单片集成三轴石英MEMS陀螺敏感芯片设计与仿真
6
作者 李贵龙 白顺风 +7 位作者 胡爽 谢佳维 张挺 林丙涛 曾庆海 王枥 赵建华 王博 《压电与声光》 北大核心 2026年第1期120-129,共10页
目前国内分立式的单轴石英微机械(MEMS)陀螺技术已相对成熟且已推广至工程应用,为进一步满足市场对惯导系统小型化与集成化的要求,提出了一种新型的单片集成三轴石英MEMS陀螺敏感芯片设计方案及仿真分析方法。通过有限元仿真分析(FEM)... 目前国内分立式的单轴石英微机械(MEMS)陀螺技术已相对成熟且已推广至工程应用,为进一步满足市场对惯导系统小型化与集成化的要求,提出了一种新型的单片集成三轴石英MEMS陀螺敏感芯片设计方案及仿真分析方法。通过有限元仿真分析(FEM)验证了该单片集成三轴石英MEMS陀螺具备显著的陀螺效应。此外,通过仿真验证了该陀螺可满足大多数工程应用场景的力学环境适应性需求。本文提出的单片集成三轴石英MEMS陀螺在品质因数(Q)值、机械灵敏度等关键指标方面均与传统单轴石英MEMS陀螺接近,相比于由传统分立式单轴MEMS陀螺装配组合而成的三轴陀螺组合,该产品体积缩小了88.4%,具备较高的工程化应用潜力和价值。 展开更多
关键词 石英MEMS陀螺 单片集成 敏感芯片 结构设计 仿真分析
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MEMS磁通门传感器有限元仿真方法
7
作者 马朝祥 吕阳 +2 位作者 陆玲霞 于淼 朱格民 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第2期48-54,共7页
针对MEMS场景下磁通门仿真建模过于简化的问题,提出考虑各向异性磁芯耦合特性的系统性仿真方法。通过采用非线性Jiles-Atherton(J-A)模型和基于张量能量运算的磁滞回线建模方法,得到耦合了磁材料复杂特性的磁芯模型。并探究不同参数对... 针对MEMS场景下磁通门仿真建模过于简化的问题,提出考虑各向异性磁芯耦合特性的系统性仿真方法。通过采用非线性Jiles-Atherton(J-A)模型和基于张量能量运算的磁滞回线建模方法,得到耦合了磁材料复杂特性的磁芯模型。并探究不同参数对传感器性能的影响。结果显示:该仿真方法可有效反映各向异性磁芯材料对磁通门工作特性的影响,验证了激励电流、磁芯厚度和线圈截面积与传感器性能的关系,可为MEMS场景下的磁通门传感器有限元仿真研究及实物制作提供有效参考。 展开更多
关键词 磁通门 有限元仿真 MEMS Jiles-Atherton模型
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幅频特性解耦的红外探测器响应时间测量方法
8
作者 张震宇 卢瑾 +3 位作者 雷程 李腾腾 李丰超 梁庭 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第2期145-149,共5页
报道了一种基于调制输入信号频率,进行MEMS热电堆红外探测器频率响应测试的方法。与传统频率响应测试相比,对于已封装的探测器,不需要已知吸收区面积或破坏封装进行器件吸收区面积的测量,直接记录待测器件的输出电压,简化操作流程,提高... 报道了一种基于调制输入信号频率,进行MEMS热电堆红外探测器频率响应测试的方法。与传统频率响应测试相比,对于已封装的探测器,不需要已知吸收区面积或破坏封装进行器件吸收区面积的测量,直接记录待测器件的输出电压,简化操作流程,提高测试效率。将探测器等效为一阶热—电系统,通过正弦谐波信号调制红外辐射,采集输出电压幅值,对数据归一化处理,利用线性系统理论拟合并定位-3 dB截止频率点,直接解算响应时间。实验结果表明,新方法测得的响应时间(8.38~9.52 ms)与传统响应率/频率曲线法结果(8.37~9.69 ms)高度吻合,最大偏差仅1.8%,保证测试精度,且测试器件完好,支持器件重复测试多次,为MEMS热电堆红外探测器动态性能测试开辟了新路径。 展开更多
关键词 MEMS红外探测器 响应时间 动态测试 幅频响应
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异步解调对微机电陀螺全温性能的影响及改善方法
9
作者 陈旭辉 白橙 +2 位作者 雷宏杰 王刚 张天磊 《中国惯性技术学报》 北大核心 2026年第1期67-72,共6页
为进一步提升微机电(MEMS)陀螺全温性能,分析了解调异步特性对MEMS陀螺输出的影响,并提出一种自时钟技术,通过提升电路同步性改善陀螺全温性能。首先,阐述当前MEMS陀螺工程上某种常见的全温异常现象。然后,针对异步解调环节带来的相位... 为进一步提升微机电(MEMS)陀螺全温性能,分析了解调异步特性对MEMS陀螺输出的影响,并提出一种自时钟技术,通过提升电路同步性改善陀螺全温性能。首先,阐述当前MEMS陀螺工程上某种常见的全温异常现象。然后,针对异步解调环节带来的相位误差进行理论分析及建模仿真,给出了MEMS陀螺全温异常现象的产生机理。提出一种通过提升时钟同步性改善全温性能的思路,通过将MEMS陀螺机械谐振子的谐振频率倍频后用作解调电路的主时钟,从而解决跨时钟域问题。最后,进行ASIC流片及陀螺系统级综合验证,实测数据证明所提出的改进方案将MEMS陀螺的全温性能提升约一个数量级。 展开更多
关键词 MEMS陀螺 全温性能 异步解调 自时钟
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富氧空位Pt/ZnO基MEMS芯片制备及乙醇传感性能研究
10
作者 杨佳璇 严勇 +2 位作者 梁梅华 李志礼 黄垒 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第3期31-35,共5页
以氧化锌(ZnO)为基材,采用浸渍—光沉积方法制备了富氧空位且铂(Pt)纳米颗粒高度分散的Pt/ZnO复合材料,以此为基础,制备了MEMS乙醇气体传感器。结果表明:Pt的负载显著提高了ZnO/MEMS传感器的灵敏度。220℃下,1.0%Pt/ZnO对体积分数为20&#... 以氧化锌(ZnO)为基材,采用浸渍—光沉积方法制备了富氧空位且铂(Pt)纳米颗粒高度分散的Pt/ZnO复合材料,以此为基础,制备了MEMS乙醇气体传感器。结果表明:Pt的负载显著提高了ZnO/MEMS传感器的灵敏度。220℃下,1.0%Pt/ZnO对体积分数为20×10^(-6)的乙醇气体的响应时间仅为1.6 s,响应值可达到21.4,是未负载Pt纳米颗粒的ZnO传感器的15倍。同时,Pt的负载使传感器的最佳工作温度降低了60℃,从而降低了传感器的功耗。此外,该1.0%Pt/ZnO传感器对乙醇具有良好的选择性与稳定性,对不同体积分数的乙醇气体表现出良好的线性响应关系。 展开更多
关键词 MEMS气体传感器 铂纳米颗粒 光沉积 氧化锌
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基于惯性数据的汽车轨迹重构算法研究
11
作者 伍洪俊 张辉 《计算机应用与软件》 北大核心 2026年第1期296-301,共6页
为了获取汽车行驶过程中微观、详细的运行轨迹,利用高采样率的二维加速度数据,根据Ackermann运动模型,提出重构汽车运动二维轨迹的算法。通过设计高采样率的汽车惯性数据采集系统和真车上路试验,同步采集了汽车GPS、加速度数据等,实验... 为了获取汽车行驶过程中微观、详细的运行轨迹,利用高采样率的二维加速度数据,根据Ackermann运动模型,提出重构汽车运动二维轨迹的算法。通过设计高采样率的汽车惯性数据采集系统和真车上路试验,同步采集了汽车GPS、加速度数据等,实验数据验证了本文的汽车轨迹重构算法有效、可靠。该算法可以解决汽车行驶过程中单纯依靠GPS记录汽车轨迹采集率过低、数据漂移等问题,可在汽车轨迹重现分析和危险行驶预警等领域有独特的应用价值。 展开更多
关键词 惯性数据 MEMS传感器 轨迹重构 交通安全
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基于压电式微机械换能器的MEMS柔性听诊器
12
作者 赵凯敏 张明洋 +1 位作者 王红亮 刘涛 《压电与声光》 北大核心 2026年第1期60-66,共7页
为解决传统听诊器准确性不足,现有电子听诊器普及受限的问题,提出将压电微机械超声换能器(PMUT)应用于心音检测,研制了高集成度、高灵敏度的无线可穿戴电子听诊器。设计六边形振膜蜂窝状PMUT阵列,采用氮化铝钪(ScAlN)材料制备传感器并... 为解决传统听诊器准确性不足,现有电子听诊器普及受限的问题,提出将压电微机械超声换能器(PMUT)应用于心音检测,研制了高集成度、高灵敏度的无线可穿戴电子听诊器。设计六边形振膜蜂窝状PMUT阵列,采用氮化铝钪(ScAlN)材料制备传感器并完成性能表征。硬件端设计前级低噪声信号调理电路及模数转换、主控、电源管理电路,软件端开发数据处理与无线传输程序以及上位机系统。通过柔性声学封装实现器件与体表紧密贴合。实验结果表明,该听诊器能采集高质量心肺音信号,信噪比达到40.9 dB,优于常用3M电子听诊器。该设计充分发挥了ScAlN材料与微机电系统(MEMS)工艺优势,为远程医疗和可穿戴保健提供了新型传感方案,对于数字化听诊技术的发展具有重要意义。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 压电式微机械换能器 可穿戴 听诊器
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气体绝缘组合电器内置式气体状态传感技术
13
作者 陈欢 秦妍 +3 位作者 史心悦 王昊天 韩旭涛 李军浩 《高电压技术》 北大核心 2026年第2期550-559,共10页
气体绝缘组合电器(gas-insulated switchgear,GIS)内部绝缘气体状态的异常变化会显著影响设备绝缘性能,而现有气体状态检测装置在外界环境影响下测量结果难以准确反映GIS内部实际气体状态。为此,该文设计了一种以微机电系统(micro elect... 气体绝缘组合电器(gas-insulated switchgear,GIS)内部绝缘气体状态的异常变化会显著影响设备绝缘性能,而现有气体状态检测装置在外界环境影响下测量结果难以准确反映GIS内部实际气体状态。为此,该文设计了一种以微机电系统(micro electro-mechanical systems,MEMS)传感器为核心的气体状态传感单元,并将其与内置式特高频(ultra high frequency,UHF)传感器集成,实现对气体状态的内置监测。面对高压设备内部严苛电磁环境,构建了融合传感器和GIS全尺寸仿真计算模型,通过分析典型干扰下传感单元周围场强分布及电磁干扰耦合路径,提出了传感单元的多层结构屏蔽外壳方案。结果表明:干扰源与气体状态传感单元之间为电容性耦合和电感性耦合的叠加,呈现多模态、宽频域特征;设计的接地屏蔽外壳硅钢主体能够有效屏蔽工频电压和电流,吸收高频电磁波,顶层铝合金层能够反射大部分高频电磁波,换流气孔处的屏蔽网进一步提升了屏蔽效果;屏蔽后传感单元上的感应电压不超过±0.2 V,满足传感单元的安全运行要求。研究结果可为高压设备内置式监测以及低压单元内置高压设备后的电磁兼容设计提供参考。 展开更多
关键词 气体绝缘组合电器 气体状态监测 内置式 电磁兼容 微机电系统传感器
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基于MEMS矢量水听器的双基地水下探测系统
14
作者 尹晨阳 张国军 +2 位作者 耿亚囡 王梦凡 耿立婷 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第3期89-94,共6页
提出了一种基于MEMS矢量水听器和微型爆炸声源结合的双基地水下探测系统。与传统双基地配置系统不同,该系统由接收标和声源标组成,采取收发分置的布放方式,以微型爆炸声源代替传统声呐,解决传统声呐声源级低,探测距离受限等问题。声源... 提出了一种基于MEMS矢量水听器和微型爆炸声源结合的双基地水下探测系统。与传统双基地配置系统不同,该系统由接收标和声源标组成,采取收发分置的布放方式,以微型爆炸声源代替传统声呐,解决传统声呐声源级低,探测距离受限等问题。声源标通过无线远程引爆爆炸声源,接收标对爆炸声信号进行采集存储,并通过无线模块将采集数据实时回传至上位机。除此之外,为方便数据的长期保存与读取,声源标、接收标分别将采集数据信息、浮标姿态信息等存储在SD卡中。室内与外场试验表明,该双基地探水下探测系统整体功能完整,微型爆炸声源声源级平均可达220 dB,对目标的定向误差在3°以内。该设计为现有装备体系实现中远程距离探测提供了新的技术手段。 展开更多
关键词 声呐浮标 双基地 主动探测 MEMS矢量水听器 微型爆炸声源
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遂宁市冬春季流感流行强度及分级预警研究
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作者 罗娇 邱小兵 +6 位作者 肖崇堃 刘文琪 梁玉君 王中 刘益昀 刘丰溢 谭兴秀 《预防医学情报杂志》 2026年第2期242-246,共5页
目的将流感综合指数和移动流行区间法(MEM模型)相结合,建立遂宁市冬春季流感分级预警标准,为流感疫情早期预警和市民健康出行提供科学参考依据。方法收集遂宁市2017年第26周至2024年第25周流感国家级哨点监测数据,选取流感病毒阳性检出... 目的将流感综合指数和移动流行区间法(MEM模型)相结合,建立遂宁市冬春季流感分级预警标准,为流感疫情早期预警和市民健康出行提供科学参考依据。方法收集遂宁市2017年第26周至2024年第25周流感国家级哨点监测数据,选取流感病毒阳性检出率和流感样病例百分比按照6:4的权重计算流感综合指数,以综合指数为基数利用R 4.3.3建立MEM预警模型,采用凑试法以约登指数为拟合效果评估指标筛选模型最优参数δ值,计算遂宁市冬春季流感预警阈值,并评估各年流行强度。结果以2017/2018、2018/2019、2019/2020和2023/2024这4个流行年流感综合指数作为基线建立MEM模型,最优δ参数为1.5,灵敏度为0.92,特异度为0.97,约登指数为0.89,流行开始阈值为1.07,中、高、超高3级流行阈值分别为1.94、2.97和3.43,流行持续时间15周。2017/2018、2019/2020年达峰时流行强度评估为中级,2018/2019、2023/2024年为超高级。结论通过整合流感样病例数百分比和流感病毒阳性检出率形成流感综合指数,结合移动流行区间法建立预警模型,能更客观地实现遂宁市流感疫情综合预警。 展开更多
关键词 流行性感冒 移动流行区间法 综合指数 分级预警
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气溶胶喷印银膜换能元制备及安保机构集成设计
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作者 董世豪 刘凤丽 +1 位作者 郝永平 王洪星 《微纳电子技术》 2026年第1期41-46,共6页
针对火工品换能元制备工艺复杂、加工一致性难以保证、材料使用率低等问题,同时满足微机电系统(MEMS)火工品向智能化、微型化与集成化方向发展的需求,开展了MEMS起爆器与MEMS安保机构总体集成设计,提出了一种基于高精度气溶胶喷印设备... 针对火工品换能元制备工艺复杂、加工一致性难以保证、材料使用率低等问题,同时满足微机电系统(MEMS)火工品向智能化、微型化与集成化方向发展的需求,开展了MEMS起爆器与MEMS安保机构总体集成设计,提出了一种基于高精度气溶胶喷印设备制备银膜换能元的方法。集成后的安保机构整体尺寸为12.8 mm×8.5 mm×2.2 mm。通过场发射扫描电子显微镜对换能元桥的形貌及厚度进行表征。银膜换能元电阻为(1.5±0.1)Ω,桥区厚度为10μm,表面连续无缺陷。对其发火性能进行测试,结果表明,在不同输入电压下存在电热、电爆两种情况,蘸有三硝基间苯二酚铅(LTNR)的银膜桥能在2 mm传火间隙下引爆压药密度为1.6 g/cm^(3)的硼硝酸钾药柱。 展开更多
关键词 气溶胶喷印 银膜换能元 微机电系统(MEMS)安保集成 三硝基间苯二酚铅(LTNR) 硼硝酸钾
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嵌套式双质量MEMS陀螺共模刚度匹配与误差抑制
17
作者 王致远 葛啸 +3 位作者 丁安澜 俞伟 丁徐锴 李宏生 《压电与声光》 北大核心 2026年第1期130-136,共7页
针对嵌套式双质量MEMS陀螺仪共模刚度失配引发的误差耦合问题,本文提出了一种共模平动与正交刚度匹配机制。通过建立四自由度动力学模型,理论揭示了共模平动刚度失配导致的共模-差模运动耦合,以及共模正交刚度失配引起的检测轴残余误差... 针对嵌套式双质量MEMS陀螺仪共模刚度失配引发的误差耦合问题,本文提出了一种共模平动与正交刚度匹配机制。通过建立四自由度动力学模型,理论揭示了共模平动刚度失配导致的共模-差模运动耦合,以及共模正交刚度失配引起的检测轴残余误差的机理。仿真实验表明,共模刚度失配会导致冲击响应下绝对位移差异,以及正交刚度失配使检测轴产生残余正交误差。实验验证显示,刚度匹配后,陀螺零偏与零偏稳定性平均降低23%和27%;动态冲击实验中,共模刚度匹配使哥氏检测通道的冲击响应等效角速度幅值衰减达到99.99%,噪声抑制能力提升80 dB,显著增强了系统抗冲击鲁棒性。研究证实,刚度匹配可有效解耦共模-差模运动,提升陀螺抗冲击性能。这为高精度MEMS陀螺设计提供了理论支持。 展开更多
关键词 嵌套式双质量MEMS陀螺仪 刚度匹配 共模误差抑制 微机电系统 性能优化
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MEMS陀螺仪耦合网络的加速自适应控制
18
作者 申林雪 张生海 魏家沛 《电光与控制》 北大核心 2026年第3期24-31,共8页
针对微机电系统(MEMS)陀螺仪耦合网络内存在的有害高频混沌振荡,提出一种基于二型模糊神经网络(T2FNN)的加速自适应反演控制方案。首先,根据串并联耦合机制建立了具有四个等效质量块的MEMS陀螺仪耦合网络模型;其次,利用相图、时间历程... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪耦合网络内存在的有害高频混沌振荡,提出一种基于二型模糊神经网络(T2FNN)的加速自适应反演控制方案。首先,根据串并联耦合机制建立了具有四个等效质量块的MEMS陀螺仪耦合网络模型;其次,利用相图、时间历程图和李雅普诺夫指数图对该耦合网络系统的动态演化规律进行了揭示;为了有效解决MEMS陀螺仪耦合网络固有的混沌运动,设计了融合速度函数、T2FNN以及双曲正切跟踪微分器(HTTD)的控制方案;最后,大量仿真实验结果验证了控制方案的可行性和有效性。 展开更多
关键词 MEMS 陀螺仪耦合网络 混沌振荡 二型模糊神经网络 加速自适应控制
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基于KNN薄膜压电MEMS声学传感器仿真方法研究
19
作者 田辰 胡胜 +3 位作者 何强 聂京凯 陈斌杰 尹航 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第2期37-41,共5页
为解决传统含铅传感器的环保问题,设计基于铌酸钾钠(KNN)无铅压电薄膜的MEMS声学传感器,采用COMSOL Multiphysics有限元分析法分析并优化其发射性能。研究构建复合压电板与含实际衬底支撑的两种传感器有限元模型,借复合压电板等效模型... 为解决传统含铅传感器的环保问题,设计基于铌酸钾钠(KNN)无铅压电薄膜的MEMS声学传感器,采用COMSOL Multiphysics有限元分析法分析并优化其发射性能。研究构建复合压电板与含实际衬底支撑的两种传感器有限元模型,借复合压电板等效模型优化器件半径、压电层/中性层厚度、上电极板半径等关键几何参数。分析发现,谐振频率与器件半径负相关,与压电层、振动层厚度正相关;当上电极板半径与器件半径比为1..2、KNN层与Si层厚度比为2..1时,器件位移响应最佳。仿真结果显示,优化后传感器发射性能显著提升,适用于超声波发射场景,为无铅压电MEMS声学传感器的制备与性能调控提供可靠数值依据。 展开更多
关键词 压电MEMS声学传感器 铌酸钾钠 有限元法分析
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高动态薄膜温度传感器设计与仿真数据分析
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作者 郑德智 李宗霖 +3 位作者 胡纯 王国俨 李中翔 那睿 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第1期78-83,共6页
为满足高铁牵引系统对高动态响应、高精度和高分辨率温度传感器的需求,通过优化芯片结构来提升MEMS铂(Pt)薄膜温度传感器的性能。尽管传统传感器在测量范围和稳定性方面表现出色,但在响应速度、分辨率和精度方面还有提升空间,特别是在... 为满足高铁牵引系统对高动态响应、高精度和高分辨率温度传感器的需求,通过优化芯片结构来提升MEMS铂(Pt)薄膜温度传感器的性能。尽管传统传感器在测量范围和稳定性方面表现出色,但在响应速度、分辨率和精度方面还有提升空间,特别是在薄膜和基底尺寸的优化方面研究不足。因此,开发了一种新型高动态薄膜温度传感器,采用绝缘体—氮化硅(Si_(3)N_(4))、电阻—铂、基底—氧化铝(Al_(2)O_(3))的结构。通过三维建模和COMSOL有限元仿真,深入分析了基底材料、薄膜和基底厚度参数对传感器性能的影响,最终确定了最优的结构参数。仿真结果表明:新型传感器在响应速度和测温精度上有显著提升,响应时间为50 ms,精度优于0.02K,分辨率达到0.001K。此外,这种高动态薄膜温度传感器的研发不仅对高铁牵引系统的温度监测具有重要意义,也为在其他高要求应用领域的潜在应用提供了基础。 展开更多
关键词 铂薄膜温度传感器 MEMS 高动态 结构优化 高精度
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