厚膜微压力传感器的研究 被引量：12

1

作者 马以武 常慧敏 +2 位作者 宋箭 王英先 虞承端 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1999年第6期11-14,共4页

针对目前我国工业过程自动控制、机电一体化及其他应用领域微压测量用工业变送器、液位计技术的需要，采用较大半径／厚度比（ｒ／ｈ）的新型超薄微压陶瓷弹性体设计和高性能钌酸盐厚膜应变电阻，并运用厚膜印刷、烧结工艺技术，研制出... 针对目前我国工业过程自动控制、机电一体化及其他应用领域微压测量用工业变送器、液位计技术的需要，采用较大半径／厚度比（ｒ／ｈ）的新型超薄微压陶瓷弹性体设计和高性能钌酸盐厚膜应变电阻，并运用厚膜印刷、烧结工艺技术，研制出工作温度高、耐腐蚀、性能价格比高的新型厚膜微压力传感器。量程１ｋＰａ、５ｋＰａ、１０ｋＰａ，精度０２％～０５％。并已在石化、冶金、电力等部门推广应用。主要阐述其设计、工艺及主要性能，并对研制中的若干问题进行探讨。 展开更多

关键词 微压力 压阻效应 厚膜 传感器 研究

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用MCA7707进行传感器自补偿 被引量：3

2

作者 赵敏 崔海 +1 位作者 王敬东 余瑞芬 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第2期31-35,39,共6页

文中以硅压阻传感器为例 ,系统地阐述了采用MCA770 7进行传感器实时自补偿的原理和应用。文章首先介绍了MCA770 7的结构和性能 ,然后详细讨论了补偿的原理 ,通过大量的公式逐步阐明了补偿的步骤和实现的可能性 ,最后对实验数据进行了分... 文中以硅压阻传感器为例 ,系统地阐述了采用MCA770 7进行传感器实时自补偿的原理和应用。文章首先介绍了MCA770 7的结构和性能 ,然后详细讨论了补偿的原理 ,通过大量的公式逐步阐明了补偿的步骤和实现的可能性 ,最后对实验数据进行了分析 ,证明利用MCA770 7对传感器进行实时补偿是可行的 。 展开更多

关键词 漂移 实时 自补偿 误差 传感器 硅压阻传感器

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智能模拟/数字式压力变送器的研制 被引量：4

3

作者 郑黎明 陈严 王书柢 《自动化与仪表》 1999年第4期15-17,共3页

根据模拟、数字兼容型变送器的要求，本文研制了一种基于Ｈａｒｔ协议的智能压力变送器。采用较为通用的硬件设计出低功耗系统以满足４～２０ｍＡ模拟标准，同时又满足数字信息传输的要求。介绍了物理层、数据链路层协议及通信模块设计。

关键词 现场总线 变送器 压力变送器 DCS 研制

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薄膜式锰铜传感器——一种新型的超高压力传感器 被引量：8

4

作者 杜晓松 杨邦朝 王卉 《仪表技术与传感器》 EI CSCD 北大核心 2000年第1期4-7,共4页

文中综述了动态高压锰铜传感器最近十多年来的研究现状,着重介绍了一类新型的锰铜传感器———薄膜式锰铜传感器的研发进展。该类传感器的研制旨在提高传感器高压测试极限和缩短响应时间。目前已进行了直到80GPa以下的初步标定。

关键词 锰铜传感器 压力传感器 超高压力测量

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硅谐振梁式压力传感器模拟计算 被引量：4

5

作者 樊尚春 刘广玉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期37-40,共4页

本文给出一种硅谐振梁式压力传感器的敏感结构：以２×２ｍｍ２的方形硅膜片直接敏感被测压力，膜片的上表面架设有６００×５０×５μｍ３两端固支的硅谐振梁，间接感受压力作用，谐振梁封装在真空腔内。利用谐振梁的固有... 本文给出一种硅谐振梁式压力传感器的敏感结构：以２×２ｍｍ２的方形硅膜片直接敏感被测压力，膜片的上表面架设有６００×５０×５μｍ３两端固支的硅谐振梁，间接感受压力作用，谐振梁封装在真空腔内。利用谐振梁的固有频率与被测压力的关系进行测量。针对这种谐振敏感结构的特征，建立其数学模型，通过模拟计算，得到若干规律性的结果，给出一组合理的设计参数。 展开更多

关键词 硅微结构 谐振梁 压力传感器 模拟计算

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一种高可靠性智能压力传感器的研制 被引量：2

6

作者 唐晓泉 韩崇昭 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第11期28-30,34,共4页

介绍了一种从硬件及其软件方面来提高智能压力传感器可靠性的方法，并基于上述原理开发了一种高可靠性的智能压力传感器。

关键词 智能 压力传感器 可靠性 传感器

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扩散硅压力传感器灵敏度温度漂移的调整 被引量：2

7

作者 唐慧 季安 +2 位作者 章学群 孙艳宾 杨晓燕 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1999年第11期1-2,18,共3页

根据扩散硅压力传感器灵敏度温漂产生的原理，分析了灵敏度与温度的关系。并依据实验数据论述了灵敏系数和扩散表面杂质浓度的关系以及电阻温度系数与表面杂质浓度的关系。简单介绍通过调整和控制表面杂质浓度等参数，得到所需的灵敏度... 根据扩散硅压力传感器灵敏度温漂产生的原理，分析了灵敏度与温度的关系。并依据实验数据论述了灵敏系数和扩散表面杂质浓度的关系以及电阻温度系数与表面杂质浓度的关系。简单介绍通过调整和控制表面杂质浓度等参数，得到所需的灵敏度温度漂移曲线。 展开更多

关键词 灵敏度 温度漂移 扩散硅 压力传感器 传感器

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新型电容式微型压力传感器 被引量：1

8

作者 冯勇建 卓勇 许金海 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第6期11-13,共3页

文中从应用开发MEMS产品的实用角度出发 ,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺。文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组成尺寸和它各部分部件的材料构成以及在硅材料加工过程中存在... 文中从应用开发MEMS产品的实用角度出发 ,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺。文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组成尺寸和它各部分部件的材料构成以及在硅材料加工过程中存在的主要技术难题。最后 。 展开更多

关键词 电容式 微型压力传感器 MEMS

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提高扩散硅压力传感器质量的几项措施 被引量：2

9

作者 李妍君 李颖 吴丁民 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第9期1-3,共3页

本文介绍了在工业变送器用扩散硅压力传感器的工程化研究中，为提高其质量而采取的几项技术措施。通过这些措施的实施，使传感器的工程化生产实现了保证质量、降低成本、提高成品率的目的。

关键词 扩散硅 传感器 压力传感器

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电容式测压微型传感器 被引量：1

10

作者 许金海 冯勇建 卓勇 《仪表技术与传感器》 EI CSCD 北大核心 2000年第1期8-10,共3页

文中主要介绍一种新型电容式测压微传感器的结构及测量电路。通过对测量电路的理论分析、仿真和实验验证,证明这种微型传感器由于采用独特的结构和测量电路,因而具有良好的线性范围和较高的灵敏度。

关键词 微传感器 电容式 压力测量

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CAD技术在压力传感器设计中的应用 被引量：1

11

作者 张治国 傅唯大 +1 位作者 匡石 王桂云 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1999年第11期3-5,34,共4页

文中介绍了ＣＡＤ 技术在压力传感器设计中的具体应用。针对压力传感器的各个设计环节，提出了具体的实现方法。所组成的设计系统利用国内外先进的ＣＡＤ 技术，综合考虑工作站的高性能和微机的易用性，使得组成的设计系统极为灵活，使... 文中介绍了ＣＡＤ 技术在压力传感器设计中的具体应用。针对压力传感器的各个设计环节，提出了具体的实现方法。所组成的设计系统利用国内外先进的ＣＡＤ 技术，综合考虑工作站的高性能和微机的易用性，使得组成的设计系统极为灵活，使用方便，适用范围广。 展开更多

关键词 硅压力传感器 有限元 CAD 传感器

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精密压力变送器的研制 被引量：7

12

作者 唐慧强 《测控技术》 CSCD 1999年第6期63-65,共3页

介绍了一种采用信号处理器的双线制压力变送器的设计方法。由于信号处理器对压力传感器的非线性及温度系数进行了合理的补偿，使变送器轻易地达到了较高的测量精度。

关键词 信号处理器 压力变送器 非线性补偿

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扩散硅压力传感器自动测试补偿系统设计 被引量：2

13

作者 李文卓 葛军 于云霞 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1997年第8期45-47,共3页

采用“一桥两测”技术，以微机为核心设计了扩散硅压力传感器的自动测试补偿系统。

关键词 一桥两测 扩散硅 压力传感器 补偿 传感器

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压力传感器实时校准技术探讨 被引量：2

14

作者 尹迪义 《测控技术》 CSCD 1998年第2期15-17,共3页

介绍压力（压差）传感器静态特性的核准，各项误差指标规定和数据处理原理、方法。翼型、叶栅国防科技重点实验室内，近期已经建成并日趋完善的压力传感器实时核准系统，为风洞实验中多只压力传感器和动态压力传感器的静态实时极准提供... 介绍压力（压差）传感器静态特性的核准，各项误差指标规定和数据处理原理、方法。翼型、叶栅国防科技重点实验室内，近期已经建成并日趋完善的压力传感器实时核准系统，为风洞实验中多只压力传感器和动态压力传感器的静态实时极准提供了一条简单实用的核准途径。 展开更多

关键词 压力传感器 非线性特性 误差处理 实时核准

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高温光纤压力传感器的设计

15

作者 毕训银 吴志鹤 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1999年第3期3-4,11,共3页

】介绍了一种高温光纤压力传感器的设计。并详细介绍了传感器的结构。

关键词 传感器 光纤 高温 设计 光纤压力传感器

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工业变送器用75系列扩散硅压力传感器

16

作者 李妍君 李颖 吴丁民 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第2期4-6,9,共4页

介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ;其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ;测量范围为 0 6kPa～ 5 0MPa;使用温区为 - 3 0～ +80℃ ;全量程。

关键词 工业 变送器 传感器 扩散硅 压力传感器

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新型声表面波谐振式压力传感器的研制

17

作者 范东远 陈明 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第1期7-10,22,共5页

本文介绍了一种新型的声表面波谐振式压力传感器，压力敏感元件为声表面波谐振器，并组成差动电路形式进行温度补偿。敏感膜片采用全石英一体化封装技术，消除了传统粘贴式封装结构所带来的迟滞、重复性等误差，极大的提高了压力测量的... 本文介绍了一种新型的声表面波谐振式压力传感器，压力敏感元件为声表面波谐振器，并组成差动电路形式进行温度补偿。敏感膜片采用全石英一体化封装技术，消除了传统粘贴式封装结构所带来的迟滞、重复性等误差，极大的提高了压力测量的精度。由于声表面波器件采用半导体工艺制作，易于批量生产，降低了成本，具有极大的实际应用价值和意义。文中介绍了该传感器的工作原理，并给出了具体的性能指标。 展开更多

关键词 声表面波谐振器 传感器 压力传感器

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光纤压力传感器

18

作者 李威宣 李先立 《自动化仪表》 CAS 北大核心 1999年第3期7-8,共2页

为解决马赫-泽德光纤干涉仪在实际应用中遇到的噪声、扰动等的影响,介绍了采用高双折射的偏振保持光纤做成的单根光纤干涉型压力传感器的检测原理,光传输特性、信号处理方法和结果.特别指出了光纤压力传感器的一些技术要点.

关键词 光纤压力传感器 压力传感器 偏振保持光纤

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基于C型弹簧管和光纤环的光纤压力传感器

19

作者 刘月明 张少君 孙尚祥 《西安理工大学学报》 CAS 2000年第1期69-73,共5页

设计了一种基于 C型弹簧管和光纤环的光纤压力传感器。对 C型弹簧管和光纤环进行了理论分析 ,建立了待测压力与光纤环微弯损耗的理论模型 ,并用实验测试方法验证了该理论模型的可靠性。通过理论分析和实验测试的方法 ,对光纤环的安装位置。

关键词 C型弹簧管 光纤环 光纤压力传感器

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压力传感器的LED排光柱显示系统

20

作者 孙以材 宋青林 +2 位作者 魏占永 高应战 祝彦 《中国仪器仪表》 2000年第1期17-19,共3页

外加电压通过热灵敏度漂移补偿自平衡电桥对压力传感器进行激励，其输出信号经热零点漂移补偿自平衡电桥电路后，用仪用放大器放大到满量程达５Ｖ电压，然后输送到比较电路、放大的压力值输出信号与分压电路的１０个基准电压分别输入到... 外加电压通过热灵敏度漂移补偿自平衡电桥对压力传感器进行激励，其输出信号经热零点漂移补偿自平衡电桥电路后，用仪用放大器放大到满量程达５Ｖ电压，然后输送到比较电路、放大的压力值输出信号与分压电路的１０个基准电压分别输入到差动放大器的正和负端。当前者大于后者时，差动放大器便输出正电平，ＬＥＤ导通并发光。依据发光的ＬＥＤ个数可判断被测压力的大小。 展开更多

关键词 压力传感器 温度补偿 LED显示

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