压电陶瓷微位移特性的电脑接触式干涉测量法 被引量：7

1

作者 朱煜 陈进榜 +2 位作者 朱日宏 王青 陈磊 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1998年第4期283-286,共4页

介绍了压电陶瓷微位移器的工作原理，在此基础上提出了一种用由立式接触式干涉仪改造的电脑接触式干涉仪测量微位移特性的方法。其完善的测试软件系统，实现了对压电陶瓷微位移量的自动化、智能化精密测量。并对自行设计的压电陶瓷微位... 介绍了压电陶瓷微位移器的工作原理，在此基础上提出了一种用由立式接触式干涉仪改造的电脑接触式干涉仪测量微位移特性的方法。其完善的测试软件系统，实现了对压电陶瓷微位移量的自动化、智能化精密测量。并对自行设计的压电陶瓷微位移装置进行了测试，得出电压－位移的关系曲线和迟滞曲线，精度和重复性值达０．０１μｍ。 展开更多

关键词 压电陶瓷 微位移 电脑接触式 干涉仪

在线阅读 下载PDF 职称材料

微机械运动的光纤干涉测量 被引量：2

2

作者 丁浩 赵浩 +1 位作者 瞿荣辉 方祖捷 《红外与激光工程》 EI CSCD 1997年第5期54-58,共5页

文中介绍一种无接触测量机械部件微运动情况的光纤Michelson干涉测量方法的原理、实验装置和实验结果。根据计算和实验研究，对应不同的样品反射率提出了两种不同的实验装置方案。该实验装置已初步在微电子机械系统的研究中发挥作用。

关键词 微机械运动 微运动 光纤干涉测量 光学测量

原文传递

半导体激光端点测长干涉仪实验系统 被引量：2

3

作者 侯德胜 周明宝 +2 位作者 杜春雷 杨代明 邓启凌 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第2期5-8,共4页

半导体激光端点干涉测长法是利用半导体激光频率调制特性的一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法。本文介绍基于这种测长方法研制的半导体激光端点测长干涉仪实验系统的基本原理、构成、定标方法和测量结果。

关键词 激光干涉仪 半导体激光器 长度测量 频率调制

在线阅读 下载PDF 职称材料

波长扫描干涉法动态测量特性的研究 被引量：1

4

作者 王勇 廖延彪 +2 位作者 田芊 张敏 章恩耀 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期56-60,共5页

对用于距离绝对测量的波长扫描干涉法的动态测量特性进行了分析。研究结果表明这种方法特别适用于缓变距离的测量或长期监测，而对于较快速变化的距离测量，本文给出了其运动速度的限制。

关键词 波长扫描 光纤干涉仪 绝对距离 动态测量

在线阅读 下载PDF 职称材料

镜片表面微变形测试中干涉条纹图象处理的一种新技术 被引量：1

5

作者 夏金安 张耀宁 +1 位作者 程祖海 丘军林 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第3期53-57,共5页

介绍了一种镜片表面微变形测试用的图象处理系统，此系统经泰曼—格林干涉仪将镜片表面形成干涉条纹，条纹图象由ＣＣＤ转换、图象卡采集、计算机处理和数据拟合后，获得镜片表面形状的空间立体和截面曲线分布以及镜片变形的绝对大小和... 介绍了一种镜片表面微变形测试用的图象处理系统，此系统经泰曼—格林干涉仪将镜片表面形成干涉条纹，条纹图象由ＣＣＤ转换、图象卡采集、计算机处理和数据拟合后，获得镜片表面形状的空间立体和截面曲线分布以及镜片变形的绝对大小和相关信息。利用此系统，本文在不同的激光功率照射和冷却条件下对平面镜、凸面镜的表面进行了测试，结果表明，此系统测量准确，使用方便，直观，速度快，效率高，具有广阔的应用前景。 展开更多

关键词 变形测量 透镜 计算机图象处理 泰曼干涉仪 干涉条纹

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种具有稳健匹配性能的九阵元干涉仪基线配置 被引量：4

6

作者 刘建华 王慕玺 《无线电通信技术》 北大核心 1999年第1期8-10,16,共4页

首先推导了形式简洁的由直射信号和多任信号相干干涉而引起的波前曲扭的一组公式，并介绍了长基线干涉仪的优点。然后给出了干涉仪基线的配三原则，及一种较好地符合该原则的九阵元基线配置形式。该配置形式便用几个陈元就构成了五种不... 首先推导了形式简洁的由直射信号和多任信号相干干涉而引起的波前曲扭的一组公式，并介绍了长基线干涉仪的优点。然后给出了干涉仪基线的配三原则，及一种较好地符合该原则的九阵元基线配置形式。该配置形式便用几个陈元就构成了五种不同长度的基线，而且相邻两好基线的长度比均为2：1左右，使该天线阵具有很高的匹配概率。该天线障的最长与最短基线的长度比为16，具有较强的抗多径测向能力。最后给出了该天线阵抗多径测向能力的计算机模拟和实际测试结果，结果表明该基线配置具有较强的抗多径测向能力。 展开更多

关键词 测向 干涉仪 基线 抗多径

在线阅读 下载PDF 职称材料

使用莫尔条纹对冲击场气流密度的测试 被引量：1

7

作者 李田泽 秦萌青 《红外与激光工程》 EI CSCD 1998年第2期52-54,共3页

文中用莫尔条纹法测出了射流冲击场的气流密度分布。实验表明，莫尔偏折图的条纹愈清晰，该段流场的燃烧愈充分，分析了在马赫盘左右条纹清晰度差的原因并给出了几个有重要意义的结论。

关键词 莫尔条纹 气流密度 冲击场 干涉仪 测试

原文传递

接触式干涉仪的快捷调整法 被引量：1

8

作者 夏广岚 刘杰锋 郭书立 《机械工程师》 北大核心 1998年第5期27-27,共1页

１前言接触式干涉仪是工厂及科研部门常用的高精度计量仪器，广泛用于量值传递和精密测量。随着机械加工向高精度发展，这种仪器的使用领域不断拓宽，但由于仪器的调整环节多，调整工作十分复杂，如果调整方法不正确，调整顺序不当，将... １前言接触式干涉仪是工厂及科研部门常用的高精度计量仪器，广泛用于量值传递和精密测量。随着机械加工向高精度发展，这种仪器的使用领域不断拓宽，但由于仪器的调整环节多，调整工作十分复杂，如果调整方法不正确，调整顺序不当，将影响工作效率并影响仪器的示值精度，... 展开更多

关键词 接触式 干涉仪 干涉原理 调整法

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于方向向量空间距离的干涉仪测向处理方法 被引量：4

9

作者 刘建华 彭应宁 田立生 《无线电工程》 1999年第1期14-15,19,共3页

本文提出了一种基于测向天线阵列阵列流形上方向向量的空间距离的干涉仪测向处理方法，利用该方法不用对长基线上的相位差测量数据进行匹配，而通过利用测得的一组有模糊的相位差数据构成的方向向量的估计值与阵列流形上的方向向量求空... 本文提出了一种基于测向天线阵列阵列流形上方向向量的空间距离的干涉仪测向处理方法，利用该方法不用对长基线上的相位差测量数据进行匹配，而通过利用测得的一组有模糊的相位差数据构成的方向向量的估计值与阵列流形上的方向向量求空间距离，即可得到入射方位角的估计。与以往相比该方法不用进行数据匹配，并可避免匹配误差的传播，同时，该方法可以直接进行阵列流形误差的修正，因而具有处理简单、稳健、精度高等特点。 展开更多

关键词 测向 干涉仪 空间谱估计 天线阵

在线阅读 下载PDF 职称材料

表面三维位移的一种测量方法 被引量：2

10

作者 李田泽 《计量技术》 北大核心 1998年第1期16-17,共2页

本文采用散斑干涉的方法运用矢量的投影变换，对表面形变与位移的测量进行了研究。这种方法是通过测量面内位移来计算空间位移。

关键词 散斑干涉法 形变 测量 投影变换 表面三维位移

在线阅读 下载PDF 职称材料

超光滑表面微观轮廓三维检测的研究 被引量：1

11

作者 王元庆 《应用激光》 CSCD 北大核心 1999年第1期25-27,21,共4页

利用于涉并模抑制和光电信号共模抑制技术，辅以二维扫描平台及计算机控制与数据处理技术，可以高精度地无损测量超光滑表面三维微观轮廓；本文论述了上述测量系统的原理、结构和误差分析，并讨论了三维微观轮廓的定义问题．

关键词 三维轮廓 二维扫描 测量 激光双焦干涉

原文传递

环境对双频激光干涉仪测量不确定度的影响 被引量：2

12

作者 金施群 刘巧云 +1 位作者 费业泰 刘永东 《上海计量测试》 1997年第3期33-34,共2页

双频激光干涉仪使用于不同的环境条件下时,由于空气折射率的变化,会使其测量不确定度受到影响。采用计算法进行修正时,要求正确地测定环境参数,如气压、温度、湿度等。本文对于这些参数的测定精度进行了分析,给出了具体的环境参数测定... 双频激光干涉仪使用于不同的环境条件下时,由于空气折射率的变化,会使其测量不确定度受到影响。采用计算法进行修正时,要求正确地测定环境参数,如气压、温度、湿度等。本文对于这些参数的测定精度进行了分析,给出了具体的环境参数测定不确定度。 展开更多

关键词 双频 激光干涉仪 测量 不确定度

在线阅读 下载PDF 职称材料

迈克尔逊干涉仪的调整与应用 被引量：6

13

作者 王素红 《大学物理实验》 1999年第1期18-19,共2页

本文介绍了用迈克尔逊干涉仪测量白光的相干长度及玻璃片厚度的方法。

关键词 白光干涉 相干长度

在线阅读 下载PDF 职称材料

运动目标空间坐标多站法激光跟踪测量建模 被引量：1

14

作者 刘永东 王佳 梁晋文 《现代计量测试》 1997年第5期10-14,共5页

运动目标空间位置激光跟踪测量是计量测试领域的前沿课题，该测量系统集激光干涉测距、光电检测、精密机械、计算机及控制系统和现代数值计算于一体，对空间运动目标进行跟踪并实时测量其坐标和姿态。测量范围１－１０ｍ，测量精度５０... 运动目标空间位置激光跟踪测量是计量测试领域的前沿课题，该测量系统集激光干涉测距、光电检测、精密机械、计算机及控制系统和现代数值计算于一体，对空间运动目标进行跟踪并实时测量其坐标和姿态。测量范围１－１０ｍ，测量精度５０μｍ／ｍ。采用多个激光干涉仪进行冗余设计，对测点造成过定位，通过解最小二乘方程组计算出被测点的坐标。文中论述了多站法跟踪测量的原理并建立了计算坐标的数学理论模型。 展开更多

关键词 运动目标 激光跟踪 干涉测量 多站法 坐标测量

在线阅读 下载PDF 职称材料

波长扫描光纤干涉仪动态扫描特性的研究

15

作者 王勇 廖延彪 田芊 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1998年第6期5-10,共6页

建立了用于绝对距离测量的波长扫描光纤干涉仪实验系统。采用了可调谐外腔半导体激光器作为波长扫描光源。研究了光源扫描过程中，输出光功率、波长的动态特性。分析了波长扫描随机漂移的来源及其统计分布，得到了其分布参数对输出信号... 建立了用于绝对距离测量的波长扫描光纤干涉仪实验系统。采用了可调谐外腔半导体激光器作为波长扫描光源。研究了光源扫描过程中，输出光功率、波长的动态特性。分析了波长扫描随机漂移的来源及其统计分布，得到了其分布参数对输出信号的影响，为系统的优化设计提供了理论依据。 展开更多

关键词 波长扫描 光纤干涉仪 距离 随机漂移 测量

在线阅读 下载PDF 职称材料

光外差干涉相位检测技术 被引量：5

16

作者 尤政 《计量技术》 1995年第5期2-3,6,共3页

本文介绍了光外差干涉技术中最为关键的相位精密检测技术，简介了相位软件取值法，提出了硬件取值法的思想和电路原理图，最后的实验结果表明，其相位检测精度优于／１０００。

关键词 光外差干涉 相位检测 硬件取值法 干涉技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

自参考剪切干涉技术中屏倾斜对检测精度的影响

17

作者 王召兵 赵明山 李国华 《量子电子学报》 CAS CSCD 1998年第4期398-402,共5页

本文从理论和实验上分析了屏倾斜对自参考剪切干涉条纹宽度及其夹角大小的影响。提出了进一步提高其检测精度的具体措施和方法。

关键词 剪切干涉 准直检测 楔形平板

在线阅读 下载PDF 职称材料

一个干涉图法波面位相自动探测

18

作者 王文生 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期179-182,共4页

用Ｈｅ－Ｎｅ激光器作光源、ＣＣＤ摄像机－微机系统作探测器，应用一个干涉图法在泰曼干涉仪上实现了自动计算干涉图，不但再现了二维等高线图，而且获得了三维波面面形。作为实例。

关键词 泰曼干涉仪 干涉图 CCD摄像机 电荷耦合器件

在线阅读 下载PDF 职称材料

相移数字散斑干涉术测量振动模态 被引量：6

19

作者 张驰 范华 +1 位作者 任雅萍 谭玉山 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1998年第4期260-262,共3页

数字散斑干涉技术是一种非接触、全场测试的光学测试方法。用数字散斑干涉术时间平均法测得的物体表面稳态振动，可描述为受高频分量调制的零阶Ｂｅｓｓｅｌ函数。文章提供一种在数字散斑时间平均法测振中使用的相移方案，以消除条纹图... 数字散斑干涉技术是一种非接触、全场测试的光学测试方法。用数字散斑干涉术时间平均法测得的物体表面稳态振动，可描述为受高频分量调制的零阶Ｂｅｓｓｅｌ函数。文章提供一种在数字散斑时间平均法测振中使用的相移方案，以消除条纹图中的背景分量，使条纹仅与振幅有关。阐述了此方案的原理，并给出实验的结构和结果。 展开更多

关键词 数字散斑干涉 时间平均法 相移 振动模态 测量

在线阅读 下载PDF 职称材料

测量精度达2.6°的光外差干涉仪用动态相位计

20

作者 赵洪志 李达成 曹芒 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期92-94,共3页

结合用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪，文中介绍了高精度动态相位计的设计与实现。依据相位测量和整数周期计数相结合的原理，不仅提高了测量精度，而且将测量范围得以扩大；利用锁相环频率跟踪的特点，实现动态测量。在... 结合用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪，文中介绍了高精度动态相位计的设计与实现。依据相位测量和整数周期计数相结合的原理，不仅提高了测量精度，而且将测量范围得以扩大；利用锁相环频率跟踪的特点，实现动态测量。在工作中心频率为2MHz应用场合下，该相位计的测量精度达2．6°（相当于3．2nm），允许测量中最大多普勒频移±20kHz（对应高度的变化率±8．75×10-3m／s），完全满足磨床加工中表面粗糙度在线测量的要求。现场测试证实了这一点。 展开更多

关键词 外差干涉 表面粗糙度 磨床加工 相位测量

在线阅读 下载PDF 职称材料