摘要
自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.
Superhard nanocomposite films are attracting more and more interests due to their excellent mechanical and chemical properties since S. Veprek et al. presented the concept in 1994. The concept, classification, superhard mechanisms, synthesis technologies and processes, properties, applications, and development of superhard nanocomposite films were reviewed in this paper.
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期9-16,共8页
Journal of Inorganic Materials
基金
国家自然科学基金(50082006)
中华人民共和国教育部留学回国人员科研启动基金(04144(99))
中国科学院上海硅酸盐研究所留学回国人员科研启动基金
关键词
超硬薄膜
纳米复合结构
CVD
磁控溅射
superhard films
nanocomposite structure
CVD
magnetron sputtering
