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切削刀具PVD涂层技术的研究与发展 被引量：8

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摘要 PVD涂层技术较之CVD具有显著优点,成为新型刀具涂层的主流技术之一。低温沉积最有效的磁控溅射方法,沉积速率高,工作气压低,镀膜质量高,工艺稳定,便于大规模工业生产,在切削刀具涂层应用中发展迅速。切削加工技术发展对刀具涂层硬度耐磨性抗氧化性与基体结合强度等综合机械性能的要求不断提高,超硬多元和多层等新型涂层得到开发,尤其是基于低温PVD沉积技术的纳米复合涂层正在成为研究热点,并显示出良好的发展前景。
作者 林有希 高诚辉 唐旭晟
机构地区 福州大学机械工程与自动化学院
出处 《机电技术》 2003年第B09期88-92,共5页 Mechanical & Electrical Technology
关键词 切削刀具 PVD CVD 硬涂层 纳米复合膜 涂层刀具 磁控溅射
分类号 TG71 [金属学及工艺—刀具与模具]
  • 相关文献

参考文献11

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同被引文献144

引证文献8

二级引证文献85

机电技术
2003年 第B09期

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