摘要
采用射频磁控溅射法在有机衬底PPA上低温制备出Zn-Sn-O透明导电膜,并对薄膜的结构和光电性质进行了研究。制备的薄膜为非晶结构,薄膜与衬底有良好的附着性。性能良好的有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的电阻率为1.3×10^(-2)Ω·cm,载流子浓度为4.4×10^(19) cm^(-3),Hall迁移率为12.4 cm^2·V^(-1)·s^(-1)。薄膜在可见光范围的平均透过率达到了82％。
基金
国家自然科学基金(批准号:60276044)
博士点基金(批准号20020422056)
