摘要
从理论上研究了辉光放电时的离化率、正离子浓度、工件的加热问题。
This paper deals with the problems of ionization proportion, ion density and heating work piece on glow discharge.
出处
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
1992年第5期10-13,共4页
Hot Working Technology
关键词
溅射
辉光放电
离化率
spatter Shoot glow discharge ionization proportion