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SiGe技术研发现状与发展趋势(上)

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摘要 SiGe 技术发展迅速,本文将依次介绍:IBM 公司的 SiGe 技术进展、SiGe 外延设备产业化的情况。当前 SiGe 技术的最新进展和 SiGe 晶圆代工的现况、业界主要 SiGe 公司的 SiGe 产品发展现状。SiGe 产品已在通信领域遍地开花。

作者刘志农钱佩信

机构地区清华大学微电子学研究所

出处《中国集成电路》 2003年第52期75-82,共8页 China lntegrated Circuit

关键词 SIGE 研发现状发展趋势硅锗技术

分类号 TN409 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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中国集成电路

2003年第52期

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