长脉宽XeCl准分子激光器

XeCl Excimer Laser at wide pulse width Operation

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摘要采用增加回路电感的方法,获得输出激光脉冲半宽度110ns、脉冲能量大于160mJ。文章比较了放电回路电感大小及输出窗口反射率对脉宽的影响。

作者董景星丁爱臻魏运荣高鸿奕楼祺洪

机构地区中国科学院上海光机所

出处《应用激光》 CSCD 北大核心 1992年第6期262-264,共3页 Applied Laser

关键词 XECL 准分子激光器反射率激光器 Xecl Excimer Laser

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应用激光

1992年第6期

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