摘要
本文报道紫外预电离放电泵浦的高重复率XeCl准分子激光器的放电特性,分析了放电参数的改变对放电过程的影响.最佳转换效率达2.2%.
The discharge characteristics of XeCl excimer laser using UV preionization discharge pump with high repetition rate are described. Influnee of discharge parameters on discharge process are analyzed. The transfer efficiency maxmum hag reached 2.2%.
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第10期871-874,共4页
Acta Optica Sinica
关键词
准分子激光器
氯化氙
放电特性
excimer laser
high repetition rate
power properties
efficiency properties .
