金属有机源分子束外延(MOMBE)生长GaAs
The Growth of GaAs by MOMBE
出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
1992年第6期12-16,共5页
Chinese High Technology Letters
关键词
分子束
外延
半导体
砷化镓
MOMBE
GaAs
Oval defects
Ⅴ/Ⅲ ratio
As4 Pressure
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