金属有机源分子束外延设备的研制

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摘要本文报道了金属有机源分子束外廷设备的设计方案和技术特点。该设备最大样品尺寸为3英寸,3室结构,空气闭锁换样,6条气路。

作者谢琪刘世闯雷震霖张利强余文斌乔金梁孔梅影孙殿照韩汝水朱世莱阎春辉

机构地区中国科学院沈阳科仪厂中国科学院半导体所

出处《半导体情报》 1991年第6期80-82,共3页 Semiconductor Information

关键词金属有机化合物分子束外延设备

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半导体情报

1991年第6期

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