摘要
阐述了 Nomarski棱镜的基本设计理论 ,以实例进行了光学系统公式的演算。并用 Matlab程序具体计算了有关参数 ,通过对结果的分析 。
The paper introduces the basic theory of designing Nomarski prisms, calculates optical system formula by instance. Using Matlab programmes, relevant parameters are calculated. By analyzing the result, briefringent prisms can be applied to the high precision micro measurement are designed.
出处
《光学仪器》
2002年第6期30-34,共5页
Optical Instruments
基金
国家自然科学基金资助项目 (10 1760 10 )
