一个改进的多层介质中电子散射模型——“等效单一介质散射”计算方法被引量：1

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摘要作者提出的中能电子在多层固体介质中散射的物理模型及Monte carlo模拟计算方法,在薄膜背散射电子发射、多层薄膜X射线定量分析及电子束曝光能量沉积的理论计算等方面得到较好应用。该模型基于“等步数变步长”的概念,认为人射电子从一个介质散射进入另一介质时,在新介质中的散射次数等于总散射次数N减去已发生的散射次数n。

作者何延才胡幼华陈家光胡敏

机构地区中国科学院上海硅酸盐研究所上海计算技术研究所上海宝山钢铁总厂研究室

出处《科学通报》 1987年第16期1271-1274,共4页 Chinese Science Bulletin

基金国家自然科学基金资助项目

关键词 Monte carlo模拟电子散射多层介质

分类号 O462.1 [理学—电子物理学]

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