多层多元组份薄膜样品中X射线荧光强度计算公式被引量：1

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摘要在电子束曝光、太阳能电池及一些功能薄膜器件等高技术工艺的研究中,经常遇到多层多元组份薄膜样品每层的厚度和成份测定问题,这是至今用任何方法无法解决的重要难题。作者试图用电子束X射线微区分析手段加之Monte Carlo模拟计算方法来解决它。多层薄膜间及同层薄膜内各元素X射线荧光校正计算是主要困难之一。

作者何延才胡幼华陈家光

机构地区中国科学院上海硅酸盐研究所上海计算技术研究所上海宝山钢铁总厂研究室

出处《科学通报》 1988年第9期711-714,共4页 Chinese Science Bulletin

基金国家自然科学基金资助项目

关键词 X射线荧光多层薄膜 Monte Carlo模拟

分类号 O434.1 [机械工程—光学工程]

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科学通报

1988年第9期

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