摘要
采用溶胶 -凝胶法成功的制备了纳米TiO2 粉末 ,研究了工艺条件对纳米TiO2 物相的影响 ,利用已经制备好的纳米TiO2 粉末制备出了纳米TiO2 氧敏元件 ,并对纳米TiO2 敏感元件的电阻 -温度特性、敏感特性、掺杂与电阻的关系等进行了测试。结果表明 ,实验制备的纳米TiO2 敏感元件具有较好的氧敏特性 ,而且掺杂可以有效地降低元件的电阻率并可显著地改善元件的电阻 -温度特性。
The nanometer TiO_2 powder is prepared by sol-gel process successfully.The effect of technology condition to nanometer TiO_2 structure is studied.Nanometer TiO_2 oxygen sensor is prepared based on this material and the properties of resistance-temperature,sensitivity,resistance-doping is researched.Nanometer TiO_2 singing element have nicely oxygen sensitivity and resistance of the element is reduced and the property of resistance-temperature is notable improved by doping.
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第11期57-60,共4页
Journal of Transducer Technology
基金
内蒙古自治区自然科学基金资助项目 (2001090 1-09)