摘要
利用一台磁过滤真空弧沉积装置 ,初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响。实验证明 ,磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大颗粒的作用 ,还作为阴极真空弧放电的第二阳极对弧放电产生影响。给出了磁过滤阴极真空弧放电的等效电路 。
It is justified first time by experiments that the magnetic filtering duct influences the cathode vacuum arc discharge by working as second anode of the MEVVA plasma source. An equivalent circuit for the filtered cathode vacuum arc discharge was derived, and used to explain and analyses the arc discharge phenomena with two anodes.
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第10期842-847,共6页
Nuclear Techniques
基金
国家"8 6 3"计划 (86 3 - 715 - 0 0 8- 0 0 40 )
