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微机械及其制造加工技术 被引量:1

Micro-mechanism and lts Processing Techniques
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摘要 介绍了微机械的概念及其特点 。 The thesis introduces the conception and features of the micro mechanism, mainly the current processing techniques for the micro mechanism.
出处 《洛阳大学学报》 2000年第4期79-82,85,共5页 Journal of Luoyang University
关键词 微机械 LIGA技术 体微机械加工 表面微机械加工 腐蚀加工 薄膜加工 micro mechanism LIGA techniques body micro mechanism process surface micro mechanism proce@
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