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三轴联动精密工作台设计与分析 被引量：3

Design and analysis of three axes precise platform
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摘要 三轴联动精密工作平台是激光显微镜机械系统中载物的关键部件。工作平台采用多层式结构,以压电陶瓷直线电机作为驱动,由双对称滚珠直线导轨带动两托板在x、y两方向上微位移精密运动;以伺服电机和滚珠丝杠配合带动载物板在z方向上运动。研究影响工作台精度的主要原因,通过误差分析与测量建立了误差补偿模型。最终验证证明,通过误差补偿工作台达到了更高的定位精度,实现了平台设计的目标。
作者 倪受东 盛志刚 张敏
机构地区 南京工业大学机械与动力工程学院
出处 《制造业自动化》 北大核心 2014年第3期105-108,115,共5页 Manufacturing Automation
关键词 精密工作台 压电陶瓷电机 分步对角线测量 误差补偿
分类号 TH122 [机械工程—机械设计及理论]
  • 相关文献

参考文献11

二级参考文献29

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共引文献93

同被引文献21

引证文献3

二级引证文献10

制造业自动化
2014年 第3期

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