热丝增加式化学气相沉积金刚石薄膜Plane-view和Cross-section样品的观察
被引量：1
The Observation of Diamond Film(HFECVD) Plane-view and Cross-section Sample
出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
1991年第1期15-17,30,共4页
Chinese High Technology Letters
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