化学气相沉积(CVD)金刚石技术及产业分析——21世纪新材料CVD金刚石被引量：2

下载PDF

导出

摘要 20世纪80年代以来，世界范围内掀起了一股利用化学气相沉积（Cheroical Vapor Deposition-CVD）方法制备金刚石材料的科技研发浪潮，新方法制备的金刚石材料几乎实现了天然单晶金刚石的全部特性，被认为是未来最具发展前景、能够实现金刚石全方位功能应用的新金刚石材料。利用化学气相沉积方法合成金刚石材料的技术最早起源可追溯到20世纪50—60年代，

作者董长顺玄真武石岩秦松岩

机构地区北京天地东方超硬材料股份有限公司

出处《新材料产业》 2008年第8期49-54,共6页 Advanced Materials Industry

关键词化学气相沉积方法 CVD金刚石产业分析技术新材料金刚石材料天然单晶金刚石世界范围

分类号 TB321 [一般工业技术—材料科学与工程]

引文网络
相关文献

同被引文献29

1阎研,张树霖,郝少康,刘尔凯,韩毅松,玄真武,顾长志,刘维,丁明清.CVD金刚石膜中1145cm^(-1)拉曼峰的研究[J].光散射学报,2004,16(2):131-135. 被引量：12
2杨佩春,戚立昌,侯立,浦新.化学气相沉积金刚石薄膜及特性分析[J].人工晶体学报,1989,18(4):298-304. 被引量：2
3陈继锋,侯立,孙京林,刘尔凯,玄真武,戚立昌,浦新,彭汉德.燃烧火焰法沉积金刚石膜的生长特性[J].人工晶体学报,1994,23(4):263-268. 被引量：4
4何敬晖,玄真武,刘尔凯.CVD法制声表面波基片金刚石层细晶粒的生长研究[J].超硬材料工程,2005,17(5):9-12. 被引量：1
5董长顺玄真武秦松岩等.CVD金刚石膜技术研究发展综述.中国超硬材料,2007,(3):12-17.
6INDUSTRIAL DIAMOND REVIEW 1/09.
79th Cimtee- Word Forum on Materials, Symposium Ⅳ- Diamond Films,pp435-454.
8蒋翔六.金刚石薄膜研究进展[M].北京:化学工业出版社,1990.
9何敬晖,玄真武,刘尔凯.硅基底上生长金刚石层细晶粒的研究(英文)[J].人工晶体学报,2007,36(5):1202-1206. 被引量：2
10解丽静,刘向东,庞思勤,侯立,孙克林.金刚石膜刀具切削玻璃钢的试验研究[J].机械工艺师,1997(8):2-3. 被引量：4

引证文献2

1王亨瑞,雷亚民,玄真武,何敬晖,董长顺.论化学气相沉积(CVD)金刚石技术最新发展[J].超硬材料工程,2010,22(1):22-27. 被引量：8
2玄真武,侯立,王亨瑞,杨志奇,赵小玻,王玉宝,承刚,许婉芬,曹延新,张怡,王晓玲,张哲,遇海涛,魏华阳,田龙,王增辉.晶体院金刚石六十年研发[J].人工晶体学报,2023,52(12):2094-2107. 被引量：3

二级引证文献11

1朱宏喜,顾超,任凤章,田保红.CVD金刚石薄膜宏观织构的形成过程[J].科学技术与工程,2011,11(12):2636-2639.
2农建中,谢正松,吴一,胡毅胜.超硬材料六面顶液压机铰链梁断裂失效分析[J].超硬材料工程,2011,23(6):5-9. 被引量：2
3吴改,陈美华,宫旎娜,刘剑红,王健行.MPCVD法合成单晶体金刚石的工艺探索(上)[J].超硬材料工程,2012,24(6):29-33.
4宋彦军,陶隆凤,王礼胜.CVD金刚石膜产业化应用问题分析及展望[J].硬质合金,2013,30(4):230-236. 被引量：1
5邹文俊.中国超硬材料与制品的发展与思考[J].超硬材料工程,2016,28(2):45-49. 被引量：8
6张艳,臧建兵,徐汉清,韩婵,陈丽贝,王艳辉.纳米金刚石及相关材料的真空镀覆及应用进展[J].金刚石与磨料磨具工程,2017,37(4):67-72. 被引量：2
7玄真武,侯立,王亨瑞,杨志奇,赵小玻,王玉宝,承刚,许婉芬,曹延新,张怡,王晓玲,张哲,遇海涛,魏华阳,田龙,王增辉.晶体院金刚石六十年研发[J].人工晶体学报,2023,52(12):2094-2107. 被引量：3
8李蛟,张晓秋,王紫光,张昕,张瑜.多晶金刚石片的机械磨抛工艺[J].金刚石与磨料磨具工程,2025,45(1):86-92. 被引量：1
9占化斌,冯凯旋,陈宇鹏,李静,韦佳伟,陈建辉,郝奇,万昌韦,陈妮.紫外纳秒激光加工CVD单晶金刚石基础研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2025,45(2):205-213.
10吴定雨,何文江,申幸卫,胡汉方,张亚东,邢志华,杜欢龙,朱义伟.工业金刚石黑暗颗粒研究[J].人工晶体学报,2025,54(11):2029-2034.

1彭补之.成膜后可以除去粉尘的化学气相沉积方法及其设备[J].材料保护,2003,36(4):76-76.
2金刚石薄膜[J].热处理,2002,17(4):44-44.
3我国1,4-丁二醇产业分析[J].煤化工,2011,39(2):4-4. 被引量：1
4侯志扬.我国苯乙烯产业分析[J].化学工业,2010,28(7):26-29. 被引量：23
5王志刚.六氟磷酸锂产业分析[J].化学工业,2011,29(8):12-17. 被引量：2
6应萱同.第13届欧洲金刚石及相关材料国际会议概述[J].国际学术动态,2003(3):39-40.
7郑州大学合成克拉级高品相钻石[J].磨料磨具通讯,2016,0(12):35-35.
8吴光华,赵志坚.CVD：中国数字视频的未来[J].广东电子,1998(9):17-25.
9联合起来把CVD做得更好![J].广东电子,1998(9):4-6.
10翟明磊.CVD无风有浪看纷争[J].广东电子,1998(9):38-41.

新材料产业

2008年第8期

浏览历史

内容加载中请稍等...

化学气相沉积(CVD)金刚石技术及产业分析——21世纪新材料CVD金刚石被引量：2

同被引文献29

引证文献2

二级引证文献11

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

化学气相沉积(CVD)金刚石技术及产业分析——21世纪新材料CVD金刚石 被引量：2

同被引文献29

引证文献2

二级引证文献11

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

化学气相沉积(CVD)金刚石技术及产业分析——21世纪新材料CVD金刚石被引量：2