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多晶硅铸锭炉加热室的结构设计技术分析被引量：1

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摘要多晶硅铸锭炉的加热室的结构设计对多晶硅锭的熔铸,有着重要的作用和意义。加热室是多晶硅铸锭炉的重要组成部分,对多晶硅锭的生产过程有着调整作用,需要优化结构设计,提高加热室的结构设计技术。文章简述多晶硅铸锭炉,分析多晶硅铸锭炉加热室的结构设计,研究提高多晶硅铸锭炉加热室结构设计的影响。

作者侯春娟杨莉娜

机构地区晶海洋半导体材料(东海)有限公司罗盖特(中国)精细化工有限公司

出处《科技创新与应用》 2013年第36期38-38,共1页 Technology Innovation and Application

关键词多晶硅铸锭炉加热室结构设计技术分析

分类号 TS36 [轻工技术与工程]

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科技创新与应用

2013年第36期

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