用溶胶-凝胶法研制氧化铝绝缘薄膜被引量：3

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摘要用溶胶-凝胶法技术制备的氧化铝绝缘薄膜材料呈非晶态,含有微量的微晶成分,单层薄膜在基片表面上的形貌呈岛状分布,多层薄膜表面有褶皱,具有“丝绒”状结构。随着热处理温度的升高,薄膜由非晶状逐步向晶态转化,薄膜的绝缘性能提高。600℃时因薄膜“塌陷”的产生,绝缘性能下降。500℃烧成的薄膜绝缘性能最好。

作者刘克俭申海涛

机构地区西安交通大学西安无线电二厂

出处《电子元件与材料》 CAS CSCD 1991年第6期12-16,共5页 Electronic Components And Materials

关键词陶瓷薄膜溶胶-凝胶法氧化铝

分类号 TM281 [一般工业技术—材料科学与工程]

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