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多弧离子镀沉积温度对TiN涂层性能的影响 被引量:18

The effect of deposition temperature of multi-arc on properties of TiN coatings
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摘要 在多弧离子镀设备上沉积了TiN涂层 ,研究了不同沉积温度下TiN涂层的表面硬度及与基体的结合力。实验结果表明 ,在保证基体材料不过热的前提下提高沉积温度 ,有利于提高TiN涂层的性能。 This paper studied the hardness and the adhesion of TiN coatings by multi arc technique with different deposition temperatures.The result show that if the feature of matrix material is not too hot,we can get better properties of TiN coatings when we develop the deposition temperature.
出处 《电加工与模具》 2000年第5期26-28,共3页 Electromachining & Mould
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献7

  • 1金恒毅,于志明,金柱京.不同底层TiN离子镀复合涂层的研究[J].表面技术,1995,24(1):5-9. 被引量:7
  • 2Huang H H,Surf Coat Technol,1994年,64卷,41页
  • 3徐信夫,真空科学与技术学报,1994年,14卷,4期,250页
  • 4Chen Y I,J Mater Sci Lett,1992年,11卷,810页
  • 5Sun Y,Mater Sci Eng A,1991年,40卷,419页
  • 6Chen Y I,Surf Coat Technol,1991年,48卷,163页
  • 7Sun Y,博士学位论文

共引文献10

同被引文献192

引证文献18

二级引证文献118

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