电子气中杂质对半导体器件的影响被引量：5

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摘要介绍了电子气中的杂质在半导体生产工艺中的危害性,较详细地阐述了金属粒子、尘埃颗粒、氧、水及碳氢化合物等杂质对半导体器件所造成的缺陷,并由此给器件的光、电性能等产生的不利影响。指山了电子气生产和使用单位对这些杂质进行严格控制的重要性。

作者俞云祺

机构地区化工部光明化工研究所

出处《低温与特气》 CAS 1991年第2期9-12,共4页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词电子气半导体器件杂质制造工艺

同被引文献38

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低温与特气

1991年第2期

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