摘要
介绍了所研制的新型压电流体泵、多自由度压电马达、压电超声减摩机构等新型压电驱动机构的基本原理、试验样机的结构及研究现状。
The basic principles of some new type piezoelectric actuators are described, they include piezoelectric pump, multi dimension piezoelectric motor and ultrasonic anti friction device. Then, their prototypes and the current research are introduced.
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2000年第3期168-172,共5页
Piezoelectrics & Acoustooptics
基金
国家自然科学高技术探索基金资助项目!(6 97850 0 8)
国家教育部留学回国人员科研启动资金资助项目
关键词
压电驱动机构
压电流体泵
压电马达
减摩机构
piezoelectric actuator
piezoelectric pump
multi dimension piezoelectric motor
ultrasonic anti friction device
