透明炉简介

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摘要透明炉,也称金管炉或金膜炉,是一种小巧轻便,能够快速升温和降温的管式电炉。这种炉子省电节能,使用方便,适合材料与元器件实验室中,200—1000℃范围内,进行烧结、退火、低温氧化、淀积薄膜和液/气相外延等多种用途。其炉体结构,最早为美国MIT公司1968年研制出来,以后在日本和其他国家陆续开发出派生产品。二十年来,透明炉作为一个炉种,其结构与功能,一直在不断完善与扩展。

作者王景义熊兴邦

出处《微细加工技术》 1992年第3期75-79,共5页 Microfabrication Technology

关键词半导体器件设备透明炉

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]

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微细加工技术

1992年第3期

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